Susceptor planetario

El susceptor planetario semicorex es un componente indispensable para los reactores de epitaxia de semiconductores, específicamente diseñados para el equipo Aixtron G5+. Construido a partir de grafito de alta pureza yRecubierto con carburo de silicio (sic), este susceptor garantiza una estabilidad térmica superior, resistencia química excepcional y un rendimiento incomparable en entornos de alta temperatura.

El reactor de epitaxia Aixtron G5+ se destaca como un punto de referencia en la industria para GaN, SIC y otros procesos de crecimiento de semiconductores compuestos. El susceptor planetario es fundamental para optimizar el flujo de gas, garantizar una rotación precisa de la oblea, mantener el control exacto de la temperatura y lograr una deposición uniforme de capas epitaxiales. Su diseño innovador mejora significativamente la repetibilidad del proceso, por lo que es la elección ideal para entornos de producción de alto volumen.

Características clave  

- Composición de material avanzado: hecho de grafito de alta pureza con un recubrimiento SIC, proporcionando una mayor durabilidad y resistencia a las duras condiciones del proceso.  

- Rendimiento térmico optimizado: garantiza una distribución de calor uniforme, crítico para el crecimiento de la capa epitaxial de alta precisión.  

- Resistencia química: el recubrimiento SIC previene la oxidación del grafito, extender la vida útil del susceptor y mantener la pureza del proceso.  

- Ingeniería de precisión: diseñado para cumplir con los requisitos estrictos de los sistemas Aixtron G5+, asegurando una integración perfecta y una eficiencia óptima del reactor.  

- Uniformidad de alta superficie: minimiza la contaminación de partículas, que soporta la calidad de la oblea superior y un mayor rendimiento en la fabricación de semiconductores.  

Ventajas de nuestro susceptor planetario  

- Vida útil del servicio extendido: elRecubrimiento sicReduce significativamente el desgaste, lo que resulta en una frecuencia de reemplazo más baja y costos operativos reducidos.  

- Estabilidad mejorada del proceso: garantiza un calentamiento consistente y gradientes térmicos mínimos, lo que lleva a una producción de obleas de alta calidad.  

- Compatibilidad y personalización: Disponible en diseños estándar y personalizados para cumplir con los requisitos específicos del proceso de Aixtron G5+.  

GrafitoLas partes juegan un papel indispensable y muy importante en el proceso de semiconductores. La calidad de los materiales de grafito tiene un gran impacto en la calidad de los productos terminados. Nuestra consistencia de lotes de grafito y homogeneidad del material se pueden controlar y garantizar a través del proceso de producción.

1. Producción de lotes pequeños, el horno de carbonización solo usa un pequeño horno con solo 50 metros cúbicos

2. Cada pieza de material es monitoreada y rastreada

3. Monitoreo de temperatura de múltiples puntos en el espacio del horno para garantizar que la diferencia de temperatura se mantenga en un rango muy pequeño

4. Monitoreo de temperatura de múltiples puntos en el material para garantizar que la diferencia de temperatura se mantenga en un rango muy pequeño

El susceptor planetario semicorex es la solución premium para los reactores de Aixtron G5+, que ofrece una excelente estabilidad térmica, resistencia química y rendimiento de precisión. Diseñado para los procesos de fabricación de semiconductores más exigentes, impulsa mayores rendimientos de obleas, minimiza el riesgo de contaminación y extiende la vida útil del equipo. Actualice su sistema de epitaxia con un susceptor de primer nivel para obtener resultados inigualables.