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¿Por qué el anillo de enfoque es indispensable para los equipos de grabado?

El anillo de enfoque, también conocido como anillo de compensación o anillo de confinamiento, es un componente indispensable de los equipos de grabado, especialmente los equipos de grabado en seco por plasma. Los procesos de grabado de precisión a nanoescala en la fabricación moderna de semiconducto......

¿Qué funciones desempeña el proceso de recocido?

Al regular con precisión los perfiles de calentamiento y enfriamiento, el proceso de recocido puede activar átomos dopantes, reparar daños en la red, alivia la tensión interna y mejora la confiabilidad eléctrica de las obleas. Estas mejoras críticas de rendimiento sientan una base sólida para el pro......

Mandriles de vacío de cerámica

Los mandriles de vacío cerámicos son herramientas que se utilizan para sujetar y transportar obleas semiconductoras en la fabricación de obleas semiconductoras. Se caracterizan por su gran planitud y paralelismo, estructura densa y uniforme, alta resistencia, buena permeabilidad al aire, fuerza de a......

Optimización del diseño del campo térmico para horno epitaxial de SiC (reactor CVD de pared caliente)

El objetivo principal es lograr uniformidad de la temperatura de la superficie de la oblea (≤±0,5–5 ℃) y estabilidad del campo de temperatura/flujo, mejorando así la uniformidad del espesor de la capa epitaxial (<3%), doping uniformity (<8%), reducing defect density, and increasing growth rate (>60 ......

Tecnologías clave de carbono/materiales compuestos de carbono

Los compuestos C/C poseen numerosas propiedades excelentes y actualmente son los únicos materiales compuestos capaces de funcionar a altas temperaturas superiores a 2600 °C en atmósferas inertes, lo que los hace ampliamente aplicables en las industrias aeroespacial, armamentista, de energía nuclear,......

Breve introducción al proceso de fabricación de obleas de SiC

Como material de sustrato indispensable en la industria de semiconductores de vanguardia, las obleas de carburo de silicio exhiben excelentes propiedades térmicas y eléctricas, con amplias perspectivas de aplicación en dispositivos electrónicos integrados de alta temperatura, alta frecuencia, alta p......

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