Anillo superior epi de 8 pulgadas

El anillo Top Semicorex de 8 pulgadas EPI es un componente especializado de los sistemas de deposición epitaxial (EPI) que proporciona un alto rendimiento como el anillo de cubierta superior en la cámara de reacción. Con un enfoque en la integridad estructural y la estabilidad térmica durante el crecimiento epitaxial de las obleas semiconductores, el anillo superior EPI está hecho de grafito de alta pureza y recubierto con carburo de silicio (SIC) para resistir la temperatura y los entornos químicamente reactivos de la fabricación de semiconductores.

En los reactores epitaxiales, el anillo superior ayuda a retener el entorno de la oblea y juega un papel importante en la uniformidad de temperatura y el flujo de gas durante la deposición como parte del ensamblaje de susceptores. El recubrimiento SIC en el sustrato de grafito proporciona al anillo superior EPI la estabilidad térmica y el entorno inerte requerido para proteger el núcleo de grafito debido a la exposición a los procesos de los gases durante el rendimiento del anillo superior EPI (hidrógeno, silano, clorosilanos, etc.). La dureza y la conductividad de la capa SIC mejoran el rendimiento del anillo superior EPI al evitar la degradación y permitiendo más capas estables durante todo el ciclo de producción.

Con un compromiso con la precisión dimensional, la consistencia del recubrimiento y la repetibilidad, el anillo superior EPI de 8 pulgadas se fabrica con ingeniería de precisión. El sustrato de grafito está mecanizado a tolerancias estrechas y se purifica térmicamente para segregar impurezas, entregando un sustrato limpio con excelente pureza y resistencia. El recubrimiento SIC se aplica a través de la deposición de vapor químico (CVD), para formar una capa protectora densa, consistente y fuertemente unida. Este proceso minimiza la generación de partículas y permite que el recubrimiento mantenga la integridad de la superficie durante el uso extendido.

Los fabricantes de semiconductores confían en el anillo superior EPI para mantener parámetros críticos de la cámara y admitir obleas sin defectos durante la producción. La configuración está diseñada para su uso con sistemas de procesamiento de obleas OEM de 8 pulgadas líderes. Las opciones personalizadas están disponibles para el grosor, el acabado superficial y los diseños ranurados para una mejor gestión térmica o incluso la distribución de gases.

Almitir las propiedades del grafito recubierto de SIC para esta aplicación requiere la combinación de las mejores propiedades de ambos materiales; El grafito es muy maquinable y tiene resistencia al choque térmico combinada con carburo de silicio que es más difícil, resistente a la corrosión y tiene una vida útil más larga. Esta combinación, en última instancia, le brinda un anillo superior EPI que es confiable a alta temperatura y garantiza un entorno de procesamiento limpio y estable que reduce los intervalos de mantenimiento y proporciona un tiempo de actividad de equipos mejorado general.

Los componentes de grafito juegan un papel indispensable y crucial en la fabricación de semiconductores. La calidad del material de grafito afecta significativamente la calidad del producto terminado. Nuestra consistencia de lotes de grafito y homogeneidad del material están controlados y garantizados durante todo el proceso de producción.

1. Producción de lote pequeño, utilizando un pequeño horno de carbonización con una capacidad de solo 50 metros cúbicos.

2. Cada pieza de material es monitoreada y rastreada.

3. El monitoreo de la temperatura en múltiples puntos dentro del horno asegura diferencias de temperatura mínima.

4. El monitoreo de la temperatura en múltiples puntos en el material garantiza diferencias de temperatura mínima.

El anillo EPI Top de 8 pulgadas de Semicorex ofrece un rendimiento excepcional, consistencia por lotes a lotes y confiabilidad comprobada en los semiconductores más difíciles silicio, carburo de silicio u otros procesos de epitaxia de semiconductores compuestos. En cada paso de fabricación, producimos productos con control de calidad, lo que significa que cada producto comprado para la industria de semiconductores excede las especificaciones de calidad.

Seleccione el anillo superior EPI de 8 pulgadas de Semicorex para su aplicación Epitaxy para aprovechar las posibilidades ofrecidas a través de ingeniería de precisión, materiales superiores y personalización específica de la aplicación para mejorar los rendimientos y el rendimiento del dispositivo.