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Oblea de SiC HPSI semiaislante de 6 pulgadas

Semicorex ofrece varios tipos de obleas de SiC 4H y 6H. Hemos sido fabricantes y proveedores de productos de carburo de silicio durante muchos años. Nuestra oblea de SiC HPSI semiaislante de 6 pulgadas con doble pulido tiene una buena ventaja de precio y cubre la mayoría de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

Semicorex tiene una línea completa de productos de obleas de carburo de silicio (SiC), que incluye sustratos 4H y 6H con obleas semiaislantes tipo N, tipo P y de alta pureza, que pueden ser con o sin epitaxia.

El diámetro de 6 pulgadas de nuestra oblea HPSI SiC semiaislante de 6 pulgadas proporciona una gran superficie para fabricar dispositivos electrónicos de potencia como MOSFET, diodos Schottky y otras aplicaciones de alto voltaje. La oblea HPSI SiC semiaislante de 6 pulgadas se utiliza principalmente en comunicaciones 5G, sistemas de radar, cabezales de guía, comunicaciones por satélite, aviones de combate y otros campos, con las ventajas de mejorar el alcance de RF, identificación de alcance ultralargo, antiinterferencias y alta -Las aplicaciones de transferencia de información de alta velocidad y alta capacidad se consideran el sustrato más ideal para fabricar dispositivos de potencia de microondas.

Presupuesto:

● Diámetro: 6″

●Doble pulido

● Grado: Producción, Investigación, Dummy

● Oblea HPSI 4H-SiC

● Espesor: 500±25 µm

● Densidad del microtubo: ≤1 ea/cm²~ ≤15 c/u/cm²

Elementos	Producción	Investigación	Ficticio
Parámetros de cristal
politipo	4H
Orientación de la superficie en el eje	<0001>
Orientación de la superficie fuera del eje	0±0,2°
(0004)FWHM	≤45 segundos de arco	≤60 segundos de arco	≤1OOarcseg
Parámetros eléctricos
Tipo	HPSI
Resistividad	≥1 E8ohm·cm	100% área > 1 E5ohm·cm	70% área > 1 E5ohm·cm
Parámetros mecánicos
Diámetro	150±0,2mm
Espesor	500±25 micras
Orientación plana primaria	[1-100]±5° o muesca
Longitud/profundidad del plano primario	47,5±1,5 mm o 1 - 1,25 mm
televisión	≤5 micras	≤10 micras	≤15 micras
TVL	≤3 micras(5mm*5mm)	≤5 micras(5mm*5mm)	≤10 micras(5mm*5mm)
Arco	-15 μm ~ 15 μm	-35 μm ~ 35 μm	-45 μm ~ 45 μm
Urdimbre	≤35 micras	≤45 micras	≤55 micras
Rugosidad frontal (Si-face) (AFM)	Ra≤0.2nm (5μm*5μm)
Estructura
Densidad de microtubos	≤1 unidad/cm²	≤10 cada uno/cm²	≤15 cada uno/cm²
Densidad de inclusión de carbono	≤1 unidad/cm²	ESO
vacío hexagonal	Ninguno	ESO
Impurezas metálicas	≤5E12átomos/cm²		ESO
Calidad frontal
Frente	Y
Acabado superficial	CMP de cara Si
Partículas	≤60ea/oblea (tamaño≥0,3μm)	ESO
Arañazos	≤5ea/mm. Longitud acumulada ≤Diámetro	Longitud acumulada≤300mm	ESO
Piel de naranja/huevos/manchas/estrías/grietas/contaminación	Ninguno		ESO
Descantillados/hendiduras/fracturas/placas hexagonales	Ninguno
Áreas politipo	Ninguno	Área acumulada≤20%	Área acumulada≤30%
Marcado láser frontal	Ninguno
Calidad trasera
Acabado trasero	CMP cara C
Arañazos	≤5ea/mm, longitud acumulada≤2*Diámetro	ESO
Defectos posteriores (descantillados/hendiduras en los bordes)	Ninguno
Rugosidad de la espalda	Ra≤0.2nm (5μm*5μm)
Marcado láser trasero	"SEMI"
Borde
Borde	Chaflán
Embalaje
Embalaje	Epi-ready con envasado al vacío Envasado de casetes de obleas múltiples
*Notas: "NA" significa sin solicitud. Los artículos no mencionados pueden referirse a SEMI-STD.

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