Oblea de SiC tipo N de 6 pulgadas

Semicorex ofrece varios tipos de obleas de SiC 4H y 6H. Somos fabricantes y proveedores de obleas desde hace muchos años. Nuestra oblea de SiC tipo N de 6 pulgadas con doble pulido tiene una buena ventaja de precio y cubre la mayoría de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Descripción del Producto

Semicorex tiene una línea completa de productos de obleas de carburo de silicio (SiC), que incluye sustratos 4H y 6H con obleas semiaislantes tipo N, tipo P y de alta pureza, que pueden ser con o sin epitaxia. Nuestro sustrato de SiC (carburo de silicio) tipo N de 4 pulgadas es un tipo de oblea de alta calidad hecha de un solo cristal de carburo de silicio con un dopaje tipo N, que tiene doble pulido.

La oblea de SiC tipo N de 6 pulgadas se utiliza principalmente en vehículos de nueva energía, transmisión y subestaciones de alto voltaje, electrodomésticos, trenes de alta velocidad, motores eléctricos, inversores fotovoltaicos, fuentes de alimentación pulsadas y otros campos, que tienen las ventajas de reducir el equipo. pérdida de energía, mejora de la confiabilidad del equipo, reducción del tamaño del equipo y mejora del rendimiento del equipo, y tienen ventajas irremplazables en la fabricación de dispositivos electrónicos de potencia.

Elementos	Producción	Investigación	Ficticio
Parámetros de cristal
politipo	4H
Error de orientación de la superficie	<11-20 >4±0,15°
Parámetros eléctricos
dopante	Nitrógeno tipo n
Resistividad	0.015-0.025ohm·cm
Parámetros mecánicos
Diámetro	150,0 ± 0,2 mm
Espesor	350±25 micras
Orientación plana primaria	[1-100]±5°
Longitud plana primaria	47,5 ± 1,5 mm
piso secundario	Ninguno
televisión	≤5 micras	≤10 micras	≤15 micras
TVL	≤3 micras(5mm*5mm)	≤5 micras(5mm*5mm)	≤10 micras(5mm*5mm)
Arco	-15 μm ~ 15 μm	-35 μm ~ 35 μm	-45 μm ~ 45 μm
Urdimbre	≤35 micras	≤45 micras	≤55 micras
Rugosidad frontal (Si-face) (AFM)	Ra≤0.2nm (5μm*5μm)
Estructura
Densidad de microtubos	<1 unidad/cm2	<10 c/cm2	<15 c/cm2
Impurezas metálicas	≤5E10átomos/cm2		ESO
TLP	≤1500 unidades/cm2	≤3000 unidades/cm2	ESO
TSD	≤500 unidades/cm2	≤1000 unidades/cm2	ESO
Calidad frontal
Frente	Y
Acabado superficial	CMP de cara Si
Partículas	≤60ea/oblea (tamaño≥0,3μm)	ESO
Arañazos	≤5ea/mm. Longitud acumulada ≤Diámetro	Longitud acumulada≤2*Diámetro	ESO
Piel de naranja/huevos/manchas/estrías/grietas/contaminación	Ninguno		ESO
Descantillados/hendiduras/fracturas/placas hexagonales	Ninguno
Áreas politipo	Ninguno	Área acumulada≤20%	Área acumulada≤30%
Marcado láser frontal	Ninguno
Calidad trasera
Acabado trasero	CMP cara C
Arañazos	≤5ea/mm, longitud acumulada≤2*Diámetro	ESO
Defectos posteriores (descantillados/hendiduras en los bordes)	Ninguno
Rugosidad de la espalda	Ra≤0.2nm (5μm*5μm)
Marcado láser trasero	1 mm (desde el borde superior)
Borde
Borde	Chaflán
Embalaje
Embalaje	Epi-ready con envasado al vacío Envasado de casetes de obleas múltiples
*Notas: "NA" significa sin solicitud. Los artículos no mencionados pueden referirse a SEMI-STD.