Los mandriles de carburo de silicio Semicorex están especialmente diseñados para equipos de fotolitografía y tienen múltiples ventajas como alta precisión, peso ultraligero, alta rigidez, bajo coeficiente de expansión térmica y excelente resistencia al desgaste.
semicorexmandriles de carburo de silicioson dispositivos de adsorción funcionales hechos decarburo de silicio(SiC) material cerámico. Se utilizan principalmente en semiconductores, energía fotovoltaica, fabricación de precisión y otros escenarios que tienen requisitos extremadamente altos de resistencia a altas temperaturas, resistencia al desgaste, resistencia a la corrosión química y limpieza de materiales.
El material cerámico de SiC tiene resistencia a altas temperaturas y mantiene su estabilidad estructural en ambientes de altas temperaturas. Su excelente conductividad térmica le permite disipar rápidamente el calor generado durante la adsorción, evitando el sobrecalentamiento de la pieza de trabajo. La excepcional dureza del material lo hace adecuado para sujetar piezas de trabajo duras o rugosas. Además, la inercia química del material cerámico de SiC lo hace resistente a la corrosión por ácidos fuertes, álcalis fuertes y disolventes orgánicos. El rendimiento de baja precipitación de impurezas de este material evita la contaminación por impurezas y prolonga el tiempo de funcionamiento normal del equipo, cumpliendo con los requisitos de ultralimpieza de la industria de semiconductores.
Características típicas de los mandriles de carburo de silicio Semicorex
1.Alta precisión: la planitud es de 0,3-0,5 μm.
2.Pulido de espejo
3. Peso ultraligero
4.Alta rigidez
5.Bajo coeficiente de expansión térmica.
6.Excelente resistencia al desgaste
Los escenarios de aplicación de los mandriles de carburo de silicio.
Fabricación de semiconductores
Transferencia y procesamiento de obleas: en procesos como la fotolitografía y el grabado, la oblea debe adsorberse de manera estable en un ambiente de vacío para evitar errores de desplazamiento.
Resistencia a la corrosión por plasma: en el proceso de grabado de semiconductores, una excelente resistencia a la corrosión puede prolongar la vida útil del producto.
Producción de células fotovoltaicas
Corte de obleas de silicio: Adsorbe obleas de silicio para resistir la vibración del corte y reducir la tasa de fragmentación de las obleas de silicio.
Fabricación de óptica y electrónica de precisión.
Procesamiento de sustrato de zafiro: los sustratos de zafiro utilizados en la fabricación de chips LED requieren adsorción al vacío. La fuerza de adsorción debe superar el peso del sustrato y evitar rayar la superficie del producto.
Los mandriles de carburo de silicio se han convertido en consumibles clave en el campo de la fabricación de alta gama debido a su excelente rendimiento, promoviendo el progreso tecnológico en industrias como la de semiconductores, fotovoltaica y fabricación de precisión.