Alúmina porosa chucks

Los chucks de alúmina poroso semicorex están diseñados especialmente para las obleas más delicadas. Su diseño poroso proporciona la garantía de una distribución de vacío consistente en la superficie del encedido, lo que garantiza un estrés localizado reducido y ayuda a prevenir el astillado y la rotura de los bordes. La sujeción mecánica (sólida o de otro tipo) no es tan efectiva como la red microporosa que contiene incluso obleas delicadas sin el estrés mecánico de sobrecarga, al tiempo que fija la oblea de manera segura, ya que la estructura microporosa evita el desgaste y proporciona una aguda suave. La necesidad de una adsorción uniforme en toda la superficie del encierro es especialmente crítica para las obleas que son más grandes y delgadas que pueden tolerar mucho menos estrés durante el manejo automatizado y mientras se ejecutan pasos de procesamiento de alta precisión.

Optimizado para el 35-40% de porosidad, el Chuck desarrolla una red de poros interconectantes que sirven para evacuar el aire mientras proporciona suficiente resistencia mecánica para mantener la oblea en su lugar contra las fuerzas del proceso. Esto significa que la fuerza de sujeción de vacío permanece estable mientras mueve las obleas, incluso en rápida sucesión, mientras realiza una secuencia de proceso compleja. La adsorción dentro de una red microporosa proporciona más estabilidad que simplemente crear diferencias en la presión dentro del sistema de vacío.

La alúmina negra (al₂o₃), en sí misma, es el material final porque es difícil, resistente al desgaste y químicamente inerte. No degradará ninguna superficie apreciable y no se ve afectado a través de ciclos repetidos de la oblea (adsorción/ enfriamiento de la colocación/ vacío). El negroalúminaes dimensionalmente estable, por lo tanto, no cambiará a pesar de los cambios de temperatura que ocurren naturalmente durante el proceso (calefacción y enfriamiento) o en el medio ambiente.

La resistencia química es otra ventaja clave de la alúmina negra. El Chuck puede operar en entornos de limpieza, plasma y grabado agresivos sin comprometer su integridad estructural. Su inercia evita la contaminación de la superficie de la oblea, asegurando una alta pureza de procesos y adherencia a los estándares de sala limpia.

La estructura microporosa también ofrece una superficie de apoyo que alivia la concentración de tensión en obleas delgadas y frágiles. En tándem con una planitud de superficie precisa y un acabado superficial liso, los chucks de alúmina poroso minimizarán la aparición de microgrietas y rasguños que podrían comprometer la integridad de la oblea en la mano.

Alúmina cerámicaTiene una excelente dureza, alta resistencia mecánica, bajo coeficiente térmico de expansión y excelente estabilidad térmica, lo que lo convierte en un material práctico para una aplicación de semiconductores de precisión. Además, su inercia química significa que puede resistir los ácidos, el álcalis y el plasma, mientras que las propiedades de resistencia al desgaste aseguran la durabilidad, estas ventajas hacen que la alúmina sea el material de elección para los chucks de vacío microporosos y proporcionan confiabilidad y previsibilidad del rendimiento.

En conclusión, los fucks de alúmina poroso están diseñados para suministrar manejo de obleas uniformes y sobrevivientes. Su estructura de alúmina negra microporosa ofrece una adsorción de vacío (uniformidad) al tiempo que minimiza el estrés mecánico y la reducción del daño de la oblea. Como fuck, la porosidad sustancial y óptima junto con propiedades térmicas, mecánicas y químicas sobresalientes ayuda a optimizar la seguridad de las obleas, el valor y la confiabilidad de la operación en condiciones de fabricación duras. La excelente combinación de manejo robusto, uniforme y seguro de que los fucks de alúmina poroso pueden ofrecer a los fabricantes son simplemente raros y únicos.