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China Cerámico Fabricantes, Proveedores, Fábrica
Semicorex es su socio para mejorar el procesamiento de semiconductores. Nuestros recubrimientos de carburo de silicio son densos, resistentes a altas temperaturas y a productos químicos, y a menudo se utilizan en todo el ciclo de fabricación de semiconductores, incluido el procesamiento de obleas y obleas de semiconductores y la fabricación de semiconductores.
Los componentes cerámicos de SiC de alta pureza son cruciales para los procesos en el semiconductor. Nuestra oferta abarca desde piezas consumibles para equipos de procesamiento de obleas, como botes de obleas de carburo de silicio, paletas en voladizo, tubos, etc. para epitaxia o MOCVD.
Ventajas para los procesos de semiconductores
Las fases de deposición de películas delgadas, como la epitaxia o MOCVD, o el procesamiento de manipulación de obleas, como el grabado o el implante de iones, deben soportar altas temperaturas y una limpieza química intensa. Semicorex suministra una construcción de carburo de silicio (SiC) de alta pureza que proporciona una resistencia al calor superior y una resistencia química duradera, incluso uniformidad térmica para un espesor y resistencia constantes de la capa Epi.
Tapas de cámara →
Las tapas de cámara utilizadas en el procesamiento de crecimiento de cristales y manipulación de obleas deben soportar altas temperaturas y una limpieza química agresiva.
Paleta voladiza →
Cantilever Paddle es un componente crucial utilizado en los procesos de fabricación de semiconductores, particularmente en hornos de difusión o LPCVD durante procesos como difusión y RTP.
Tubo de proceso →
Process Tube es un componente crucial, diseñado específicamente en diversas aplicaciones de procesamiento de semiconductores, como RTP y difusión.
Barcos de oblea →
Wafer Boat se utiliza en el procesamiento de semiconductores y ha sido meticulosamente diseñado para garantizar que las delicadas obleas se mantengan seguras durante las etapas críticas de producción.
Anillos de entrada →
Anillo de entrada de gas recubierto de SiC mediante equipo MOCVD El crecimiento compuesto tiene una alta resistencia al calor y a la corrosión, lo que tiene una gran estabilidad en ambientes extremos.
Anillo de enfoque →
Semicorex suministra el anillo de enfoque recubierto de carburo de silicio que es realmente estable para RTA, RTP o limpieza con productos químicos agresivos.
Mandril de oblea →
Los mandriles de oblea de vacío cerámicos ultraplanos Semicorex están recubiertos con SiC de alta pureza en el proceso de manipulación de oblea.
Semicorex también dispone de productos cerámicos en Alúmina (Al2O3), Nitruro de Silicio (Si3N4), Nitruro de Aluminio (AIN), Zirconia (ZrO2), Cerámica Compuesta, etc.
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Manga del eje de SiC
Semicorex proporciona cerámica de calidad semiconductora para sus herramientas de semifabricación OEM y componentes de manipulación de obleas. Hemos sido fabricantes y proveedores de películas de recubrimiento de carburo de silicio durante muchos años. Nuestro manguito de eje SiC tiene una buena ventaja de precio y cubre la mayoría de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
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Portabrocas de oblea semiconductora
Los componentes avanzados con revestimiento de carburo de silicio de alta pureza de Semicorex están diseñados para resistir los entornos extremos en el proceso de manipulación de obleas. Nuestro Semiconductor Wafer Chuck tiene una buena ventaja de precio y cubre muchos de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
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Mandril de vacío de oblea
Perfectos para aplicaciones de litografía y manipulación de obleas de última generación, los componentes cerámicos ultrapuros de Semicorex garantizan una contaminación mínima y proporcionan un rendimiento de vida útil excepcionalmente larga. Nuestro portabrocas de vacío Wafer tiene una buena ventaja de precio y cubre muchos de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
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Anillos de enfoque duraderos para procesamiento de semiconductores
Los anillos de enfoque duraderos de Semicorex para procesamiento de semiconductores están diseñados para soportar los entornos extremos de las cámaras de grabado por plasma utilizadas en el procesamiento de semiconductores. Nuestros anillos de enfoque están hechos de grafito de alta pureza recubierto con una capa densa y resistente al desgaste de carburo de silicio (SiC). El revestimiento de SiC tiene altas propiedades de resistencia a la corrosión y al calor, así como una excelente conductividad térmica. Aplicamos SiC en capas finas sobre el grafito mediante el proceso de deposición química de vapor (CVD) para mejorar la vida útil de nuestros anillos de enfoque.
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Anillo de enfoque de procesamiento de plasma
El anillo de enfoque de procesamiento de plasma Semicorex está especialmente diseñado para satisfacer las altas demandas del procesamiento de grabado con plasma en la industria de semiconductores. Nuestros componentes avanzados con revestimiento de carburo de silicio de alta pureza están diseñados para soportar entornos extremos y son adecuados para su uso en diversas aplicaciones, incluidas capas de carburo de silicio y semiconductores epitaxia.
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Anillos de enfoque de SiC
Los anillos de enfoque de SiC avanzados y de alta pureza de Semicorex están diseñados para resistir los entornos extremos en cámaras de grabado por plasma (o grabado en seco). Nos centramos en industrias de semiconductores como las capas de carburo de silicio y los semiconductores epitaxia. Nuestros productos tienen una buena ventaja de precio y cubren muchos de los mercados europeos y americanos. Esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.
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Semicorex ha estado produciendo Cerámico durante muchos años y es uno de los fabricantes y proveedores profesionales de Cerámico en China. Una vez que compre nuestros productos avanzados y duraderos que suministran embalaje a granel, garantizamos la gran cantidad en una entrega rápida. A lo largo de los años, hemos brindado a los clientes un servicio personalizado. Los clientes están satisfechos con nuestros productos y excelente servicio. ¡Esperamos sinceramente convertirnos en su socio comercial confiable a largo plazo! Bienvenido a comprar productos de nuestra fábrica.
