Calentadores de nitruro de aluminio

Los calentadores de nitruro de aluminio semicorex son elementos de calefacción de cerámica de última generación diseñados para aplicaciones que exigen una alta conductividad térmica, aislamiento eléctrico y una durabilidad excepcional. Diseñado por cerámica de nitruro de aluminio, estos calentadores proporcionan calentamiento rápido y uniforme, lo que los hace ideales para entornos de alta precisión, como el procesamiento de semiconductores, el diagnóstico médico e instrumentación analítica avanzada.

Los calentadores de nitruro de aluminio son componentes clave en el equipo de deposición de películas delgadas de semiconductores. Se aplican directamente a la cámara de proceso y en contacto directo con la oblea. No solo llevan la oblea, sino que también se aseguran de que la oblea obtenga una 

Temperatura de proceso estable y uniforme. Esta característica es esencial para reacciones de alta precisión en la superficie de la oblea y la generación de películas delgadas uniformes.

Típicamente, los calentadores de nitruro de aluminio incluyen un sustrato de cerámica con una superficie de carga de obleas y un cuerpo de soporte cilíndrico que lo soporta en la parte posterior. Además de un circuito de calentamiento resistivo para el calentamiento, también se proporcionan un electrodo de RF y un electrodo electrostático de chuck y otros conductores dentro o en la superficie del sustrato de cerámica.

El equipo de deposición de película delgada generalmente utiliza materiales cerámicos basados ennitruro de aluminio (ALN)Porque implica un entorno de alta temperatura. La razón por la cual los calentadores de nitruro de aluminio se favorecen en la fabricación de semiconductores se debe principalmente a sus propiedades físicas y químicas únicas. El nitruro de aluminio no solo tiene una alta conductividad térmica y puede lograr un calentamiento y enfriamiento rápido en poco tiempo, sino que también tiene un buen aislamiento eléctrico y resistencia mecánica, lo que garantiza la estabilidad y la confiabilidad del calentador. Además, el coeficiente de expansión térmica del nitruro de aluminio es similar al del silicio, lo que ayuda a reducir el impacto del estrés térmico en la oblea y mejorar el rendimiento del proceso.

En términos generales,calentadores de cerámicase utilizan principalmente en equipos de deposición de películas delgadas. Dado que implica procesos de alta temperatura, el material cerámico utilizado es principalmente nitruro de aluminio; Los fucks electrostáticos se usan principalmente en equipos de grabado, y el material cerámico utilizado es principalmente óxido de aluminio. Con el desarrollo de la tecnología de semiconductores, existe una superposición entre los calentadores de cerámica y los chucks electrostáticos. Por ejemplo, los calentadores de cerámica utilizados en el equipo de deposición de películas delgadas están equipados con fucks electrostáticos, que tienen las funciones duales de calentamiento a alta temperatura y adsorción electrostática. Los fucks electrostáticos utilizados en equipos de grabado también comienzan a involucrar procesos de alta temperatura, y el material cerámico debe cambiarse de óxido de aluminio a nitruro de aluminio.