Portabrocas de cerámica de nitruro de aluminio

El mandril cerámico de nitruro de aluminio representa una solución de vanguardia para el procesamiento de obleas semiconductoras, diseñado específicamente para mantener las obleas en su lugar de forma segura durante las distintas etapas de fabricación. Este innovador dispositivo, que funciona como un mandril electrostático (ESC), aprovecha las propiedades excepcionales de la cerámica de nitruro de aluminio para garantizar una retención precisa y confiable de las obleas.

El mandril cerámico de nitruro de aluminio Semicorex emplea fuerzas electrostáticas para sujetar firmemente la oblea a su superficie. Esto se logra a través de una placa meticulosamente diseñada con electrodos integrales, que están estratégicamente polarizados con alto voltaje. Como resultado, se establece una fuerza de sujeción electrostática entre la placa y la oblea, inmovilizando efectivamente la oblea en su lugar durante todas las etapas de procesamiento.

Una de las características destacadas del mandril cerámico de nitruro de aluminio es su notable combinación de alta conductividad térmica y propiedades de aislamiento. Esta combinación única de características lo convierte en una opción de material ideal para aplicaciones ESC. La alta conductividad térmica garantiza una disipación de calor eficiente, crucial para mantener una distribución uniforme de la temperatura en la oblea durante el procesamiento. Al mismo tiempo, sus excepcionales propiedades de aislamiento proporcionan aislamiento eléctrico entre el mandril y la oblea, minimizando el riesgo de interferencia eléctrica o daños a componentes semiconductores sensibles.

El mandril cerámico de nitruro de aluminio ofrece varias ventajas sobre los materiales de mandril tradicionales. Su construcción robusta garantiza una durabilidad a largo plazo, capaz de soportar las rigurosas exigencias de los entornos de fabricación de semiconductores. Además, su compatibilidad con procesos de alta temperatura y resistencia a la expansión térmica lo convierten en una herramienta indispensable para lograr resultados de procesamiento de obleas consistentes y de alta calidad.