Barcos de oblea de cuarzo verticales

En los procesos de fabricación de semiconductores, los componentes semiconductores de la cámara de reacción deben cumplir estrictos estándares de limpieza. De lo contrario, incluso las impurezas o contaminantes a micro o nanoescala pueden causar daños irreversibles al rendimiento y al rendimiento de los dispositivos semiconductores.

Barcos de oblea de cuarzoPor lo general, se instalan verticalmente en cámaras de reacción de alta temperatura, como hornos de difusión, hornos de oxidación y hornos de recocido, donde deben estar en contacto directo con las obleas. Los botes de oblea de cuarzo verticales de Semicorex están fabricados con materiales de cuarzo de alta pureza para satisfacer estos requisitos de alta limpieza. Esta sabia selección de materiales evita eficazmente la contaminación de las obleas causada por los reactivos liberados de los recipientes de las obleas durante el proceso de fabricación.

En la fabricación de semiconductores, se requiere que los barcos de obleas no solo se sometan a ciclos repetidos de calentamiento y enfriamiento, sino que también resistan la corrosión de los gases de proceso durante un tiempo prolongado. Cuarzo vertical de SemicorexobleaLos barcos exhiben una estabilidad dimensional excepcional en las desafiantes condiciones operativas de ciclos térmicos constantes debido a su estabilidad térmica inherente. Estas propiedades térmicas superiores previenen significativamente la deformación de la oblea y el daño causado por la degradación de precisión o la deformación estructural de los barcos de oblea de cuarzo verticales. Además, gracias a su alta inercia química, las obleas verticales de cuarzo pueden ser resistentes a la reacción con gases corrosivos como oxígeno, vapor de agua, cloruro de hidrógeno y amoníaco. Esta propiedad reduce en gran medida la posibilidad de que la corrosión química comprometa la integridad estructural de las barcas de oblea de cuarzo verticales.

Además de las ventajas de rendimiento mencionadas anteriormente, las obleas verticales de cuarzo de Semicorex también demuestran una excelente competitividad en precisión dimensional y diseño estructural. Cada una de sus piezas se fabrica mediante técnicas de mecanizado de precisión. Este control dimensional preciso garantiza un posicionamiento preciso de la oblea, minimizando los rayones y grietas causados ​​por el desplazamiento o las colisiones durante la carga, el procesamiento y la descarga.