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El grafito con revestimiento de TaC se crea recubriendo la superficie de un sustrato de grafito de alta pureza con una fina capa de carburo de tantalio mediante un proceso patentado de deposición química de vapor (CVD).



El carburo de tantalio (TaC) es un compuesto que consta de tantalio y carbono. Tiene una conductividad eléctrica metálica y un punto de fusión excepcionalmente alto, lo que lo convierte en un material cerámico refractario conocido por su resistencia, dureza y resistencia al calor y al desgaste. El punto de fusión de los carburos de tantalio alcanza un máximo de aproximadamente 3880 °C, dependiendo de la pureza, y tiene uno de los puntos de fusión más altos entre los compuestos binarios. Esto lo convierte en una alternativa atractiva cuando las demandas de temperatura más altas exceden las capacidades de rendimiento utilizadas en procesos epitaxiales de semiconductores compuestos como MOCVD y LPE.


Datos del material del revestimiento Semicorex TaC

Proyectos

Parámetros

Densidad

14,3 (g/cm³)

Emisividad

0.3

CTE (×10-6/K)

6.3

Dureza (HK)

2000

Resistencia (Ohm-cm)

1×10-5

Estabilidad térmica

<2500℃

Cambio de dimensión de grafito

-10~-20um (valor de referencia)

Espesor del recubrimiento

Valor típico ≥20um(35um±10um)



Los anteriores son valores típicos.




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Recubrimiento TaC Media luna

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Semicorex TaC Coating Half-moon es un componente especializado elaborado a partir de grafito recubierto de carburo de tantalio (TaC), diseñado para su uso en procesos epitaxiales. Semicorex se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Semicorex TaC Coating Chuck, el mandril de vacío de última generación equipado con recubrimientos TaC, diseñado específicamente para hornos semiconductores. Semicorex se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Placa epitaxial con revestimiento de TaC

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Puede estar seguro de comprar una placa epitaxial con revestimiento TaC en nuestra fábrica. La placa epitaxial con revestimiento Semicorex TaC (carburo de tantalio) cuenta con una resistencia al calor excepcional, lo que la hace ideal para aplicaciones sujetas a altas temperaturas. Su notable capacidad para resistir el calor garantiza durabilidad y confiabilidad en entornos exigentes. Semicorex se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Placa recubierta de TaC

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La placa recubierta de TaC Semicorex es un disco especializado diseñado para su uso en procesos epitaxiales de SiC, elaborado con precisión a partir de material de grafito de alta calidad. Su superficie está meticulosamente recubierta con carburo de tantalio (TaC), un compuesto conocido por su excepcional pureza y resistencia. Semicorex se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Plantilla de recubrimiento TaC

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Semicorex TaC Coating Jig es un componente fundamental dentro del proceso de fabricación de semiconductores, elaborado meticulosamente a partir de grafito y fortificado con una capa resistente de recubrimiento de carburo de tantalio. Este elemento crucial del equipo representa una fusión de ciencia de materiales de vanguardia e ingeniería de precisión, diseñado para cumplir con las estrictas demandas operativas y los exigentes estándares que prevalecen en la fabricación de semiconductores. Semicorex se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Susceptor de recubrimiento TaC

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El susceptor de recubrimiento Semicorex TaC representa un pináculo en ingeniería de materiales, meticulosamente elaborado con grafito de alta calidad y fortificado con un recubrimiento de carburo de tantalio. Diseñado principalmente para su empleo en el crecimiento de cristales de SiC y en procesos epitaxiales de SiC, este componente innovador es un modelo de durabilidad y rendimiento en entornos térmicos y químicos extremos. Semicorex se compromete a ofrecer productos de calidad a precios competitivos y esperamos convertirnos en su socio a largo plazo en China.

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Semicorex ha estado produciendo Recubrimiento TaC durante muchos años y es uno de los fabricantes y proveedores profesionales de Recubrimiento TaC en China. Una vez que compre nuestros productos avanzados y duraderos que suministran embalaje a granel, garantizamos la gran cantidad en una entrega rápida. A lo largo de los años, hemos brindado a los clientes un servicio personalizado. Los clientes están satisfechos con nuestros productos y excelente servicio. ¡Esperamos sinceramente convertirnos en su socio comercial confiable a largo plazo! Bienvenido a comprar productos de nuestra fábrica.
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