Tubo recubierto de TaC

El tubo recubierto de Semicorex TaC representa un pináculo de la ciencia de los materiales, diseñado para soportar las condiciones extremas que se encuentran en la fabricación avanzada de semiconductores. Creado mediante la aplicación de una capa densa y uniforme de TaC sobre un sustrato de grafito isotrópico de alta pureza mediante deposición química de vapor (CVD), el tubo recubierto de TaC ofrece una atractiva combinación de propiedades que superan a los materiales convencionales en entornos exigentes de alta temperatura y químicamente agresivos. **

Enviar Consulta

Descripción del Producto

El poder del tubo recubierto Semicorex TaC radica en la combinación sinérgica del material base y el recubrimiento especializado:

Base de grafito isotrópico de alta pureza:El núcleo del tubo recubierto de TaC está formado por grafito isotrópico de pureza ultraalta, conocido por su excelente conductividad térmica, baja expansión térmica y resistencia inherente al choque térmico. Esta base proporciona una plataforma robusta y estable capaz de soportar las rápidas fluctuaciones de temperatura y las altas cargas térmicas características del procesamiento de semiconductores.

Carburo de tantalio---Un escudo de durabilidad e inercia:El recubrimiento de TaC aplicado por CVD transforma el sustrato de grafito, impartiendo dureza, resistencia al desgaste e inercia química excepcionales. Esta capa protectora actúa como una barrera contra los gases agresivos, los plasmas y las especies reactivas que se encuentran durante la fabricación de semiconductores, lo que garantiza la integridad estructural y la longevidad del tubo.

Esta combinación única de materiales se traduce en una serie de ventajas que son fundamentales para la fabricación avanzada de semiconductores:

Resistencia a la temperatura inigualable:TaC cuenta con uno de los puntos de fusión más altos de todos los materiales conocidos, superando incluso al carburo de silicio (SiC). Esta resistencia a temperaturas extremas permite que el tubo recubierto de TaC funcione de manera confiable en procesos que requieren temperaturas superiores a 2500 °C, lo que permite la producción de dispositivos semiconductores de próxima generación con presupuestos térmicos exigentes.

Pureza ultraalta para el control de procesos críticos:Mantener entornos de proceso impecables es primordial en la fabricación de semiconductores. El uso de grafito de alta pureza y el meticuloso proceso de recubrimiento CVD garantizan una mínima desgasificación o generación de partículas del tubo recubierto de TaC, lo que evita la contaminación que podría comprometer las sensibles superficies de las obleas y el rendimiento del dispositivo.

Resistencia química inquebrantable:La inercia química del tubo recubierto de TaC proporciona una resistencia excepcional a una amplia gama de gases corrosivos, iones reactivos y entornos de plasma comúnmente utilizados en procesos de semiconductores como grabado, deposición y recocido. Esta sólida estabilidad química se traduce en una mayor vida útil de los tubos, menores requisitos de mantenimiento y un menor costo general de propiedad.

Durabilidad mecánica mejorada para una vida útil prolongada:La fuerte fuerza de unión entre el revestimiento de TaC y el sustrato de grafito, junto con la dureza inherente del tubo recubierto de TaC, proporciona una resistencia excepcional al desgaste, la erosión y la tensión mecánica. Esta mayor durabilidad se traduce en una vida útil más larga y un menor tiempo de inactividad para el reemplazo, lo que mejora la eficiencia y el rendimiento del proceso.