Media luna superior con revestimiento TaC

La semicorex TaC Coating Upper Halfmoon es un componente diseñado específicamente para lograr procesos epitaxiales de alta eficiencia en el ámbito de la producción de semiconductores. La pieza TaC Coating Upper Halfmoon está diseñada para encajar perfectamente en reactores epitaxiales, proporcionando durabilidad y estabilidad excepcionales en condiciones extremas.

El recubrimiento TaC ofrece una excelente resistencia a las altas temperaturas, lo que hace que TaC Coating Upper Halfmoon sea ideal para los exigentes entornos térmicos de los procesos epitaxiales. Esto garantiza un rendimiento constante y una longevidad, reduciendo la frecuencia de reemplazos y el tiempo de inactividad. La media luna superior con revestimiento TaC puede resistir gases corrosivos y productos químicos comúnmente utilizados en el crecimiento epitaxial, protegiendo la integridad del componente y manteniendo la pureza del proceso.

El recubrimiento suave y uniforme de TaC mejora la calidad de las capas epitaxiales al minimizar los defectos e impurezas. Esto contribuye a mayores tasas de rendimiento y propiedades electrónicas superiores de los dispositivos semiconductores. La combinación de resistencia térmica y química extiende la vida operativa de la media luna superior con revestimiento TaC, proporcionando una solución rentable para mantener un alto rendimiento y eficiencia en la fabricación de semiconductores.

Aplicaciones:

Procesos de deposición química de vapor (CVD) a alta temperatura

Epitaxia de carburo de silicio (SiC) y nitruro de galio (GaN)

Especificaciones técnicas:

Material: Recubrimiento de carburo de tantalio (TaC)

Rango de temperatura: hasta 2200 °C

Resistencia química: Excelente contra HF, HCl y otros gases corrosivos

Dimensiones: Personalizable para adaptarse a modelos de reactores específicos

Semicorex TaC Coating Upper Halfmoon es un componente esencial para lograr capas epitaxiales de alta calidad con mayor eficiencia y menores riesgos de contaminación. Las propiedades avanzadas de sus materiales y su ingeniería precisa lo convierten en un activo valioso en la industria de los semiconductores, que respalda la producción de dispositivos electrónicos de próxima generación.