Pedestal de silicona

El pedestal de silicio Semicorex, un componente que a menudo se pasa por alto pero que es de importancia crítica, desempeña un papel vital en el logro de resultados precisos y repetibles en los procesos de oxidación y difusión de semiconductores. La plataforma especializada, sobre la cual descansan los barcos de silicio dentro de hornos de alta temperatura, ofrece ventajas únicas que contribuyen directamente a una mayor uniformidad de temperatura, una mejor calidad de las obleas y, en última instancia, un rendimiento superior de los dispositivos semiconductores.**

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Descripción del Producto

1. Pedestal de silicio Semicorex que estabiliza el entorno de procesamiento para obtener resultados óptimos:

Creación de una base estable para Crystal Boats:El pedestal de silicio proporciona una plataforma robusta y térmicamente estable para botes de silicio dentro de la cámara del horno de alta temperatura. Esta estabilidad garantiza que los barcos mantengan su posición y orientación durante todo el proceso, evitando movimientos o inclinaciones no deseados que podrían alterar la dinámica del flujo de gas y comprometer la uniformidad de la temperatura.

Mejora de la uniformidad de la temperatura dentro de la cámara de reacción:Al aislar eficazmente la embarcación de silicio del piso y las paredes del horno, el pedestal de silicio minimiza la pérdida de calor por conducción y promueve una distribución de temperatura más uniforme dentro del tubo de reacción térmica. Esta capacidad mejorada de gestión térmica es crucial para lograr perfiles de difusión u oxidación consistentes y repetibles en toda la superficie de la oblea.

Impulsar la eficiencia del aislamiento para un uso optimizado de la energía:Las propiedades inherentes de aislamiento térmico del pedestal de silicio contribuyen a un proceso más eficiente desde el punto de vista energético al minimizar la pérdida de calor al entorno circundante. Esto se traduce en ciclos de calentamiento y enfriamiento más rápidos, menor consumo de energía y, en última instancia, menores costos generales de procesamiento.

2. Sinergia de materiales para una calidad superior de oblea:

Expansión térmica adecuada para reducir la tensión de la oblea:El pedestal de silicio, fabricado con el mismo material de silicio de alta pureza que los barcos y las propias obleas, ofrece una ventaja crucial sobre materiales alternativos como el cuarzo o el carburo de silicio. Esta sinergia de materiales garantiza que el pedestal, la embarcación y las obleas se expandan y contraigan a velocidades casi idénticas durante los ciclos de calentamiento y enfriamiento, minimizando el riesgo de estrés térmico, curvatura de las obleas y defectos cristalográficos que pueden afectar negativamente el rendimiento y el rendimiento del dispositivo.

Minimizar la contaminación y los desajustes de la red:El uso de silicio de alta pureza tanto para el pedestal de silicio como para el barco elimina la posibilidad de contaminación por materiales diferentes, lo que garantiza un entorno de procesamiento impecable para las obleas. Esta compatibilidad de materiales también minimiza el riesgo de desajustes de la red en la interfaz de la oblea-barco, lo que contribuye aún más a mejorar la calidad del cristal y reducir la densidad de defectos.