Barco de oblea de cerámica SiC

Semicorex SiC Ceramic Wafer Boat se distingue por una combinación única de propiedades de materiales que lo hacen ideal para los rigores de la fabricación de semiconductores y fotovoltaica:

Estabilidad inquebrantable a altas temperaturas:El procesamiento de obleas a menudo implica temperaturas extremas que llevan los materiales convencionales al límite. El SiC Ceramic Wafer Boat exhibe una excepcional resistencia a altas temperaturas, manteniendo su integridad estructural y propiedades mecánicas incluso a temperaturas superiores a 1650 °C (3000 °F). Esto permite su uso en procesos críticos como la difusión y el recocido, donde el control preciso de la temperatura y la estabilidad de las obleas son primordiales.

Fortaleza inexpugnable contra la corrosión:Los productos químicos agresivos y las sustancias agresivas utilizadas en la fabricación de semiconductores y fotovoltaica plantean un desafío importante para la integridad del material. El SiC Ceramic Wafer Boat exhibe una resistencia a la corrosión superior en comparación con la mayoría de los metales y otras cerámicas, soportando una exposición prolongada a una amplia gama de ácidos, solventes, sales y compuestos orgánicos. Esta inercia garantiza la longevidad del barco, evita la contaminación por degradación del material y salvaguarda la pureza de los pasos críticos del proceso.

Limpieza sin esfuerzo para una pureza sin concesiones:Mantener las superficies impecables de las obleas es fundamental para lograr altos rendimientos y rendimiento del dispositivo. La superficie no porosa del SiC Ceramic Wafer Boat y su resistencia al ataque químico lo hacen excepcionalmente fácil de limpiar. Los contaminantes se eliminan fácilmente, lo que evita la contaminación cruzada entre ejecuciones de procesos y garantiza el entorno impecable necesario para los dispositivos semiconductores y fotovoltaicos de alto rendimiento.

Resiliencia frente al estrés térmico y mecánico:El procesamiento de obleas a menudo implica cambios rápidos de temperatura y manipulación mecánica que pueden inducir tensión y dañar materiales susceptibles. Las robustas propiedades mecánicas del SiC Ceramic Wafer Boat, que incluyen una alta dureza y una excepcional resistencia al choque térmico, garantizan su integridad estructural incluso en condiciones exigentes. Esto minimiza el riesgo de generación de partículas o daño de las obleas, lo que contribuye a mayores rendimientos y una calidad constante del producto.

Transporte antideslizante para una precisión inquebrantable:El manejo preciso de las obleas es crucial para prevenir daños y garantizar un procesamiento consistente. La lubricidad inherente y el bajo coeficiente de fricción del SiC Ceramic Wafer Boat crean una superficie naturalmente antideslizante. Esto permite un movimiento suave y controlado de la oblea durante la carga y descarga, minimizando el riesgo de rayones, astillas u otros daños que podrían comprometer la integridad de la oblea.