Barco de recocido de silicio
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Barco de recocido de silicio

El barco de recocido de silicio Semicorex, meticulosamente diseñado para manipular y procesar obleas de silicio, desempeña un papel crucial en la consecución de dispositivos semiconductores de alto rendimiento. Sus características de diseño y propiedades de material únicas lo hacen esencial para pasos críticos de fabricación como la difusión y la oxidación, asegurando un procesamiento uniforme, maximizando el rendimiento y contribuyendo a la calidad y confiabilidad general de los dispositivos semiconductores.**

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Descripción del Producto


Pureza ultraalta para entornos de procesamiento impecables: El barco de recocido de silicio Semicorex, fabricado con silicio de pureza ultra alta (hasta 13 N de pureza), minimiza el riesgo de contaminación durante el procesamiento a alta temperatura. Esta pureza excepcional garantiza que las obleas estén expuestas a un entorno impecable, evitando la introducción de impurezas no deseadas que pueden degradar el rendimiento del dispositivo y reducir el rendimiento.


Contacto reducido con la oblea para minimizar el daño:La superficie lisa y pulida del Silicon Annealing Boat minimiza los puntos de contacto con las obleas, lo que reduce significativamente el riesgo de rayones, astillas u otros daños mecánicos durante el transporte y el procesamiento. Este manejo cuidadoso preserva la integridad de las obleas, mejora el rendimiento general del proceso y contribuye a la creación de dispositivos de mayor calidad.


Diseños personalizables para un rendimiento optimizado: Los diseños de los botes de recocido de silicio se pueden adaptar para cumplir con requisitos de proceso específicos, incluidas variaciones en la forma, la longitud, el ángulo y el número de dientes de soporte de la oblea. Esta personalización permite optimizar la dinámica del flujo de gas, la uniformidad de la temperatura y el espaciado de las obleas dentro del horno, lo que garantiza resultados de procesamiento consistentes y repetibles para una amplia gama de geometrías de dispositivos y parámetros de proceso.


Alto límite de deposición de polisilicio para funcionamiento prolongado:El barco de recocido de silicio presenta una alta tolerancia a la deposición de polisilicio, lo que permite un funcionamiento prolongado antes de que sea necesario limpiarlo o reemplazarlo. Esta vida útil prolongada reduce el tiempo de inactividad del equipo asociado con el mantenimiento, lo que contribuye a una mayor capacidad de producción y menores costos generales de fabricación.



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