Barcos de oblea de cuarzo horizontales

Barcos de oblea de cuarzo horizontalescomúnmente sostienen obleas semiconductoras horizontalmente dentro de los tubos del horno de los equipos de tratamiento térmico, calentadas por dispositivos de calentamiento externos. Se utilizan ampliamente en procesos exigentes de tratamiento térmico de semiconductores corrosivos a alta temperatura, como procesos de oxidación térmica, difusión a alta temperatura, recocido y deposición química de vapor (CVD).

Las funciones de las obleas de cuarzo horizontales Semicorex.

1. Sujeción y fijación estables.

Los barcos de obleas de cuarzo horizontales Semicorex tienen una excelente capacidad de carga y pueden ofrecer constantemente un soporte estable para múltiples obleas semiconductoras. Y su diseño externo optimizado y su estructura de ranura precisa garantizan que cadaobleaestá perfectamente encajado y firmemente asegurado en los botes horizontales de oblea de cuarzo, lo que reduce significativamente los rayones y colisiones de la oblea causados ​​por sacudidas, desplazamientos e inclinaciones durante el transporte y los procesos de fabricación.

2.Asistencia a la uniformidad del proceso

La estructura de ranuras con espaciado igual de los barcos de obleas de cuarzo horizontales permite la colocación ordenada de obleas semiconductoras, creando así un campo de flujo de gas estable y suave en los hornos de alta temperatura. El diseño estructural logra un contacto de gas y una velocidad de reacción consistentes en cada superficie de la oblea, reduciendo así de manera efectiva varios defectos causados ​​por el calentamiento desigual y el contacto diferencial del gas, como la oxidación incompleta de la oblea, la deposición desigual de películas delgadas y la desviación de la concentración de dopaje.

3.Vida útil duradera

Gracias a la resistencia superior a las altas temperaturas del material de cuarzo, las obleas de cuarzo horizontales Semicorex pueden soportar altas temperaturas de 1100-1200 ℃ durante mucho tiempo sin deformarse ni fundirse.CuarzoEs químicamente inerte a los gases comúnmente utilizados en procesos de semiconductores, como oxígeno, nitrógeno y cloruro de hidrógeno. Esta excepcional inercia química puede minimizar el riesgo de corrosión de los gases de proceso, extendiendo en gran medida la vida útil y reduciendo el tiempo y los costos de reemplazo de equipos.