Campana de cuarzo de 15"

Semicorex 15" Quartz Bell Jar está diseñado para enfrentar estos desafíos, proporcionando una solución de alto rendimiento para el procesamiento por lotes de mediana y gran escala donde la uniformidad térmica y la pureza del material son esenciales para maximizar el rendimiento. En las industrias de semiconductores y películas delgadas, la integridad de la cámara de proceso es primordial. A medida que aumentan los tamaños de las obleas y los nodos se reducen, el requisito de un entorno limpio, estable y químicamente inerte se vuelve no negociable.

1. Ciencia de los materiales: la pureza de la sílice fundida

La base de nuestra campana de cristal es de alta pureza.sílice fundida (cuarzo). A diferencia del vidrio estándar, el cuarzo está compuesto casi en su totalidad por SiO2, lo que proporciona propiedades únicas que son vitales para la fabricación de semiconductores:

Contaminación ultrabaja: nuestro cuarzo se procesa para minimizar los oligoelementos metálicos (como Al, Fe, Na y K) al nivel de partes por mil millones (ppb). Esto evita la difusión de impurezas en la oblea durante los ciclos de alta temperatura, asegurando la integridad eléctrica de los dispositivos.

Resistencia superior al choque térmico: el cuarzo posee un coeficiente de expansión térmica (CTE) cercano a cero. Esto permite que la campana de cuarzo de 15" resista rápidos aumentos de temperatura y enfriamiento sin riesgo de fractura o fatiga estructural, un requisito crítico para los reactores de alto rendimiento.

Excelente inercia química: el cuarzo es altamente resistente a la mayoría de los ácidos (con excepción del ácido fluorhídrico) y a los gases de proceso corrosivos, lo que garantiza que la cámara no se degrade ni desgasifique durante ciclos agresivos de grabado o deposición.

2. Ingeniería de precisión y claridad óptica.

La campana de cuarzo de 15" proporciona un volumen máximo y una dinámica óptima de flujo de gas para el procesamiento de obleas por lotes. La jarra tiene una chimenea vertical (también conocida como cuello) que está diseñada de manera óptima para proporcionar una entrada de gas o ayudar a extraer gas a través del vacío de la jarra, como se muestra en la imagen de arriba.

Transparencia óptica: el alto nivel de transmisión dematerial de cuarzoEmitir longitudes de onda en las regiones ultravioleta, visible e infrarroja del espectro permite el procesamiento en tiempo real, así como el uso de calentadores de lámpara externos para un procesamiento térmico rápido (RTP).

Superficies de sellado reforzadas: el cuello del frasco tiene un sello blanco opaco especialmente desarrollado (también conocido como junta esmerilada) que proporciona una interfaz hermética (sellada al aire) y hermética al vacío entre la placa base del reactor y el frasco.

Recocido para aliviar el estrés: todas las campanas de cuarzo de 15" se someten a un riguroso proceso de recocido térmico para aliviar la tensión mecánica interna que se ha colocado en el frasco mediante el proceso mecánico de soplar o darle forma, lo que reduce significativamente la posibilidad de que un frasco falle espontáneamente cuando se coloca bajo carga de vacío.

3. Aplicaciones críticas en la fábrica de semiconductores

Nuestra campana de cuarzo de 15" está diseñada específicamente para su integración en los siguientes procesos de alto valor:

Epitaxia de silicio: proporciona un recipiente transparente y no reactivo para el cultivo de capas de silicio monocristalino de alta calidad.

CVD mejorado con plasma (PECVD): resiste el ambiente corrosivo del plasma mientras mantiene una alta rigidez dieléctrica.

Difusión y oxidación: Sirve como una cámara limpia y de alto calor para la formación de óxidos de compuerta y dopantes.

Producción de preformas de fibra óptica: ideal para la deposición de capas de sílice de alta pureza en la fabricación de vidrios especiales.

En Semicorex, manejamos cada campana de vidrio como una pieza de equipo de laboratorio de precisión. Nuestro proceso incluye: Abastecimiento estricto de materiales con calidad electrónica verificada.cuarzolingotes; fabricación avanzada que combina las habilidades tradicionales de soplado de vidrio con el esmerilado y pulido controlados por CNC; e inspección exhaustiva utilizando luz polarizada para detectar tensiones residuales e interferometría láser para controles dimensionales precisos.