Casetes de teflón

Los casetes de teflón semicorex son portadores de obleas de alto rendimiento diseñados específicamente para su uso en entornos químicos exigentes donde la pureza, la resistencia química y la estabilidad térmica son esenciales. Hecho de politetrafluoroetileno (PTFE) de alta pureza, estos casetes se usan ampliamente en la fabricación de semiconductores, el grabado húmedo, la limpieza de productos químicos y otras aplicaciones donde la exposición a productos químicos altamente agresivos es rutina. Su naturaleza no reactiva los hace ideales para manejar sustratos delicados como obleas de silicio, paneles de vidrio y otros componentes de precisión sin introducir contaminación o partículas en el proceso.

En diversos procesos de fabricación de semiconductores, como litografía, grabado e implantación de iones, los casetes juegan un papel en el transporte y la transferencia de obleas entre diferentes dispositivos. Los diferentes equipos de proceso pueden tener diferentes requisitos de interfaz para casetes para garantizar que los transportistas de obleas puedan ser recibidos y colocados con precisión.

Desde la perspectiva del material y el diseño, los materiales que son resistentes al calor, tienen excelentes propiedades mecánicas, estabilidad dimensional y son duraderos, antiestáticos, de baja desgasificación, baja precipitación y reciclables se usan generalmente. Diferentes tamaños de obleas, nodos de proceso y procesos utilizan diferentes materiales. Los materiales generales son PFA, PTFE, PP, PEEK, PES, PC, PBT, PEI, COP, etc.

Los casetes de teflón ofrecen resistencia química superior en ambientes que utilizan ácido hidrofluorico, ácido nítrico, ácido sulfúrico y otros corrosivos fuertes. A diferencia de los materiales convencionales como el polipropileno o el acero inoxidable, PTFE no se degrada no; no se hincha; No lixivia sustancias en baños químicos agresivos. Por lo tanto, el rendimiento está garantizado durante largos períodos y, por lo tanto, la confiabilidad de los cassettes para líneas de producción de alto rendimiento y entornos ultra limpios. Su robustez significa necesidades de mantenimiento más bajas y frecuencia de reemplazo, reduciendo así los costos operativos a largo plazo.

Los casetes de teflón demuestran una estabilidad térmica muy alta. Pueden resistir fácilmente las temperaturas de -200 ° C a +260 ° C, aplicables para procesos criogénicos y de alta temperatura. Incluso se colocan en cámaras de secado con calefacción o baños químicos fríos, los casetes no pierden su resistencia estructural; No se deforman ni se agrietan, asegurando que las obleas permanezcan de manera segura durante el procesamiento. Esta resiliencia de temperatura contribuye significativamente al control de procesos y la uniformidad, que son críticas para la fabricación de semiconductores y MEMS.

Una característica igualmente importante de los casetes de teflón es su superficie inerte, antiadherente. PTFE inherentemente no permite la adsorción de partículas y residuos químicos, lo que reduce los riesgos de contaminación en ambientes de sala limpia. Esto tiene que combinarse con un acabado superficial liso que permite enjuagarse fácil y secarse rápido, por lo tanto, los resultados más limpios y los tiempos de ciclo más rápidos resultan. En el procesamiento de semiconductores, donde los defectos pueden ser causados incluso por contaminantes microscópicos, este nivel de limpieza e inercia química es obligatorio.

Cada cassette está hecho con precisión a tolerancias de tamaño estrecho, garantizando una alineación y espaciado constantes de la oblea mientras se mueve y se coloca en líquido. Su forma fácil de diseñar ayuda al flujo y drenaje químicos rápidos, lo que acelera las tasas de cambio químicas y mejora la limpieza o la uniformidad de grabado en la superficie de la oblea.  Los cassettes están disponibles en tamaños estándar para obleas de 4 pulgadas, 6 pulgadas y 8 pulgadas, con opciones de personalización disponibles para adaptarse a dimensiones específicas de sustrato, recuentos de ranuras y requisitos de manejo.

Diseñado para la compatibilidad con bancos húmedos automatizados y sistemas de manejo de obleas robóticas, los casetes de teflón se integran fácilmente en la mayoría de las configuraciones de producción de semiconductores. Su robusta construcción y acabado de grado limpio satisfacen las estrictas demandas de entornos con certificación ISO. Todos los casetes se someten a una inspección exhaustiva y están precipitadas en agua ultra pure para cumplir con los estándares de limpieza necesarios para la producción avanzada de microelectrónica. Se pueden proporcionar certificados de conformidad y trazabilidad de material completo para garantizar el cumplimiento de los protocolos de garantía de calidad.