El aislamiento rígido semicorex es un fieltro duro de fibra corta de alto rendimiento, especialmente desarrollada para la gestión térmica en equipos de epitaxia. Elegir semicorex significa elegir experiencia probada, materiales premium y soluciones personalizadas que garanticen la mayor pureza, confiabilidad y eficiencia para sus procesos de fabricación de semiconductores.*
El aislamiento rígido semicorex está especialmente diseñado para el proceso epitaxial SIC, con una estructura de ensamblaje única, alta resistividad, prevención de chispas y un buen rendimiento de aislamiento térmico. El aislamiento rígido es una barrera térmica de alto rendimiento hecha de fibras cerámicas cortas premium. Diseñado en una estructura de fieltro duro, este material de aislamiento rígido combina una excelente resistencia mecánica con propiedades superiores de aislamiento térmico, lo que lo hace ideal para las condiciones exigentes dentro de los entornos de fabricación de semiconductores.
El carburo de silicio y silicio de grado semiconductor generalmente debe prepararse en un entorno de alta temperatura utilizando instrumentos específicos, como hornos de tracción de silicio de cristal único y hornos de crecimiento de un solo cristal de carburo de silicio, y hay requisitos más estrictos para el entorno de preparación. Por ejemplo, el mantenimiento de la temperatura de preparación y la reducción de la interferencia de impureza externa. Por esta razón, un aislamiento térmico se sintió tejido de la fibra de carbono de alta pureza, y con sus ventajas de moldeo fácil, no fácil de romper, un fuerte rendimiento de aislamiento térmico y un bajo contenido de impureza, se convirtió en una verdadera "ropa cálida" antes del nacimiento de los semiconductores.
Utilizando el fieltro de fibra de carbono a base de sartén y la fibra de carbono a base de viscosa como materias primas, el aislamiento rígido se prepara a través de procesos como remojo, enlace, curado, tratamiento térmico y mecanizado. Se usa ampliamente en equipos de alta temperatura, como hornos industriales metalurgados de polvo, hornos de sinterización de vacío, hornos de cristal único fotovoltaicos, hornos policristalinos y hornos de crecimiento de cristales semiconductores. Tiene buena resistencia a la compresión y un excelente rendimiento de aislamiento térmico. En comparación con el fieltro suave, el aislamiento rígido tiene las ventajas de instalación fácil, tamaño estable, baja atenuación de aislamiento térmico y larga vida útil.