Tanque de almacenamiento líquido de cuarzo

El tanque de almacenamiento de líquido de cuarzo semicorex es un recipiente especialmente diseñado para aplicaciones de limpieza húmeda de semiconductores donde el manejo de líquidos requiere un nivel extraordinario de limpieza y estabilidad de los materiales. Principalmente, este tanque se utiliza para recolectar desechos o líquidos residuales de aplicaciones de limpieza de obleas. Es invaluable para la productividad del proceso y el control de contaminación. Durante un proceso de limpieza húmedo, el enjuague de la oblea de semiconductores implica grandes volúmenes de agua ultrapura o reactivos químicos que se convierten en líquido residual al final del enjuague. Además, se debe recolectar líquido residual después del enjuague porque tiene impurezas de rastreo potenciales o valiosos componentes químicos que no deben ir por el desagüe. También se deben recolectar líquido de desechos cuando se realizan pasos de recubrimiento, como aplicaciones fotorresistentes, donde se deben recolectar residuos adicionales o químicos de desechos. Por lo tanto, el tanque de almacenamiento de líquido de cuarzo tiene los entregables perfectos para proporcionar alta pureza, compatibilidad química y propiedades bajas de contaminantes.

El tanque está hecho de cuarzo fusionado de alta pureza que es muy resistente a los ácidos fuertes, álcalis y solventes utilizados regularmente en la limpieza y la litografía de semiconductores. Ya sea un contenedor convencional, el cuarzo le da a las piezas material líquido la mejor oportunidad de que no hay exposición secundaria de contaminantes, lixiviación o exposición de iones no deseados. Uno de los aspectos principales del tanque de almacenamiento de líquidos de cuarzo es la capacidad de apoyar los flujos de trabajo analíticos en los fabricantes de semiconductores, ya que los líquidos residuales recolectados en un recipiente de cuarzo pueden usarse en procesos aguas abajo, como la detección de impurezas, el análisis de contaminación y el reciclaje de productos químicos. Inherente a las propiedades del cuarzo, puede contener de manera segura fluidos residuales y permitir una evaluación visual sin riesgo de interacción dada su inercia y transparencia, además de su estabilidad térmica, lo que permite que cualquier fluido en el tanque se acelere ligeramente a cualquier temperatura del proceso sin riesgo de degradarse o impactar el fluido. Dicho esto, el tanque de almacenamiento de líquidos de cuarzo está diseñado tanto para la recolección de residuos como para el almacenamiento a corto plazo antes de ser transferidos o tratados.

Cada detalle del control de contaminación del proceso es importante, especialmente a medida que los nodos de fabricación de dispositivos avanzados se reducen y los parámetros de limpieza se vuelven más estrictos. El tanque de almacenamiento de líquidos de cuarzo garantiza que los operadores FAB confíen en que la gestión de residuos no se convierte en una fuente de contaminación secundaria. Al contener soluciones de limpieza residuales o líquidos en exceso de proceso, evita que los flujos de trabajo aguas arriba y aguas abajo sean afectados de manera válida. Además, el tanque admite los objetivos de sostenibilidad de un FAB, ya que los líquidos recolectados pueden procesarse para la purificación y reutilización de reactivos, utilizando así otro proceso menos intensivo químico y resultando en menos carga ambiental en general.

Desde un punto de vista práctico, el diseño del tanque de almacenamiento de líquido de cuarzo le permite incorporarse fácilmente en hardware de limpieza húmedo y sistemas de gestión de productos químicos. El factor de formulario se puede adaptar a las configuraciones de herramientas existentes. Los métodos de fabricación de precisión aseguran las dimensiones redondas, y que la superficie interior lisa transportará fácilmente y almacenará todos los líquidos en su entorno fabuloso de semiconductores. Una estructura de cuarzo no poroso evitará la absorción de contaminantes y permitirá la limpieza del tanque, lo que la hace capaz de reutilizar, a diferencia de los contenedores de plástico convencionales que operan en entornos controlados químicos en operaciones de volumen significativas.

El resultado final, el tanque de almacenamiento de líquidos de cuarzo está especialmente diseñado para obtener importancia en todas las aplicaciones de limpieza y recubrimiento de semiconductores. Al crear la mejor pureza posible, resistencia química y almacenamiento de líquidos sin contaminación en una instalación operativa de semiconductores, los FAB pueden controlar efectivamente su proceso con poco o ningún exceso de contaminación. Si un FAB está utilizando el tanque para recibir la recolección de residuos directos, para la recuperación de un reactivo, etc., o para el análisis de impurezas, la historia de los pasos críticos en el proceso permanece en el estado original sin comprometer la operación. Cuando busca maximizar el rendimiento, minimice el riesgo para su proceso de trabajo a la pérdida de estabilidad y maximice la eficiencia del manejo químico de los subproductos, el cuarzo sin contaminación es la única opción que ofrece un rendimiento confiable con toda su limpieza húmeda.