Tubo de horno de cuarzo

El tubo de horno de cuarzo Semicorex, los botes de oblea y los crisoles de cuarzo para el crecimiento de un solo cristal de silicio están hechos de alta pureza.materia de cuarzol. El cuarzo se utiliza ampliamente en la industria de los semiconductores; el cuarzo de alta pureza es el consumible importante en la fabricación de obleas. El principal mercado objetivo de las piezas de cuarzo en el campo de los semiconductores es el proceso de difusión y grabado en la fabricación de obleas; se puede dividir en dos categorías principales: piezas de alta temperatura y piezas de baja temperatura.

1. Las piezas de alta temperatura son tubos de horno de cuarzo, botes de oblea, soportes para botes, etc. Necesitan entrar en contacto directa o indirectamente con la oblea de silicio en un ambiente de alta temperatura, y están hechos principalmente de material de vidrio de cuarzo fundido, producido mediante procesamiento térmico.

2. Las piezas de baja temperatura son anillos de cuarzo en proceso de grabado e incluyen casetes y tanques de limpieza en proceso de limpieza. Se utilizan principalmente en ambientes de baja temperatura y están hechos principalmente de vidrio de cuarzo fundido, producido mediante procesamiento en frío.

Los componentes en la zona de alta temperatura se consumen más rápidamente, pero generalmente se usan en sistemas de múltiples obleas (un portador contiene múltiples obleas de silicio), mientras que los componentes en la zona de baja temperatura se consumen más lentamente, pero se usan en sistemas de una sola oblea (un portador contiene una oblea de silicio); por lo tanto, el tamaño general del mercado para ambos es relativamente similar.

El horno es el área en la que las obleas se someten a un proceso de calentamiento a alta temperatura, consta de un tubo de horno de cuarzo, un reactor y varios calentadores; se aplica ampliamente en procesos de difusión, oxidación y RTP en el procesamiento de semiconductores. El horno se divide principalmente en tipos horizontales y verticales:. En un horno horizontal, las obleas se colocan sobre un recipiente de cuarzo, que a su vez se coloca sobre un soporte de SiC. También hay deflectores adaptativos en la parte delantera y trasera. El soporte se introduce en el tubo del horno de cuarzo y las obleas reaccionan en una zona de temperatura constante. En un horno vertical, las obleas se colocan en una torre de cuarzo y luego se elevan lentamente hacia el tubo del horno de cuarzo para su procesamiento.

Debido a las altas temperaturas involucradas en los procesos anteriores, para evitar una deformación severa y el colapso del tubo del horno de cuarzo después de un uso repetido y prolongado, durante la producción se debe usar un tubo del horno de cuarzo que sea resistente a la deformación y al colapso y que tenga una larga vida útil.

Aquí están las ventajas decuarzotubo del horno:

1. Resistencia a altas temperaturas. El vidrio de cuarzo tiene un punto de reblandecimiento de aproximadamente 1730 ℃ y puede usarse durante períodos prolongados a 1150 ℃, con una temperatura máxima a corto plazo que alcanza los 1450 ℃.

2. Resistencia a la corrosión. A excepción del ácido fluorhídrico, el cuarzo de alta pureza apenas reacciona químicamente con otras sustancias ácidas. A altas temperaturas, puede resistir la corrosión del ácido sulfúrico, ácido nítrico, ácido clorhídrico, agua regia, sales neutras, carbono y azufre. Su resistencia a los ácidos es 30 veces mayor que la de la cerámica y 150 veces mayor que la del acero inoxidable.  Su estabilidad química, especialmente a altas temperaturas, no tiene comparación con ningún otro material de ingeniería.

3. Buena estabilidad térmica. El cuarzo de alta pureza tiene un coeficiente de expansión térmica extremadamente bajo y puede soportar cambios drásticos de temperatura.  Calentar cuarzo de alta pureza a aproximadamente 1100 ℃ y luego sumergirlo en agua a temperatura ambiente no hará que se rompa.

4. Buen rendimiento de transmisión de luz. El cuarzo de alta pureza tiene un buen rendimiento de transmisión de luz en todo el espectro, desde ultravioleta hasta infrarrojo. La transmitancia de la luz visible es superior al 93% y en el espectro ultravioleta la transmitancia máxima puede alcanzar más del 80%.

5. Buen rendimiento de aislamiento eléctrico. La resistividad del cuarzo de alta pureza es diez mil veces mayor que la del vidrio de cuarzo ordinario, lo que lo convierte en un excelente material de aislamiento eléctrico y posee buenas propiedades eléctricas incluso a altas temperaturas.