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Mandriles de vacío de cerámica SiC
Los mandriles de vacío de cerámica Semicorex SiC son dispositivos de adsorción de vacío de precisión fabricados con cerámica de carburo de silicio, que pueden colocar obleas semiconductoras de manera precisa y estable en posiciones específicas durante el procesamiento y la inspección. El uso de mandriles de vacío cerámicos de SiC de Semicorex puede ayudar a mejorar los rendimientos de fabricación de semiconductores, mejorar el rendimiento de los dispositivos semiconductores y reducir los costos generales de fabricación.
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Calentadores de grafito
Los calentadores de grafito Semicorex son elementos calefactores resistivos diseñados con precisión para los requisitos de pureza ultra alta y alta temperatura de los hornos semiconductores, específicamente optimizados para procesos de crecimiento de cristales MOCVD, CVD y SiC. La asociación con Semicorex le proporciona soluciones de calefacción personalizadas que combinan grafito isostático superior con tecnologías de recubrimiento avanzadas, lo que garantiza una uniformidad térmica líder en la industria, un rendimiento sin contaminación y un costo total de propiedad (TCO) significativamente menor.*
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Anillos porosos de carburo de tantalio
Los anillos de carburo de tantalio poroso Semicorex son componentes refractarios de alto rendimiento diseñados específicamente para el proceso de transporte físico de vapor (PVT) del crecimiento de cristales de carburo de silicio (SiC), y presentan una estructura monolítica sinterizada que ofrece una estabilidad térmica excepcional y una permeabilidad controlada al gas.*
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Portadores de obleas RTA SiC
Los portadores de obleas Semicorex RTA SiC son herramientas esenciales para el transporte de obleas, especialmente diseñadas para el rápido proceso de recocido térmico en la fabricación de semiconductores. Los portadores de obleas Semicorex RTA SiC son las soluciones óptimas para un proceso de recocido térmico rápido, que puede ayudar a mejorar los rendimientos de fabricación de semiconductores y mejorar el rendimiento de los dispositivos semiconductores.
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Susceptores de oblea de grafito recubiertos de TaC
Los susceptores de obleas de grafito recubiertos con TaC de Semicorex son componentes de vanguardia que normalmente se aplican para soportar y posicionar de manera estable las obleas semiconductoras durante los procesos epitaxiales avanzados de semiconductores. Aprovechando las tecnologías de producción de última generación y su madura experiencia en fabricación, Semicorex se compromete a suministrar susceptores de obleas de grafito recubiertos de TaC diseñados a medida con una calidad líder en el mercado para nuestros valiosos clientes.
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Susceptores recubiertos de CVD TaC
Los susceptores recubiertos de TaC CVD Semicorex son susceptores de grafito de alto rendimiento con un recubrimiento denso de TaC, diseñados para ofrecer una excelente uniformidad térmica y resistencia a la corrosión para los exigentes procesos de crecimiento epitaxial de SiC. Semicorex combina tecnología avanzada de recubrimiento CVD con un estricto control de calidad para proporcionar susceptores duraderos y de baja contaminación en los que confían los fabricantes mundiales de SiC epi.*
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