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Casettes de obleas de PFA
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Casettes de obleas de PFA

Los casetes de obleas de PFA semicorex son portadores de alta pureza diseñados para garantizar el manejo seguro y sin contaminación de obleas de semiconductores durante el procesamiento húmedo, el almacenamiento y el transporte. La elección de semicorex garantiza no solo una calidad de material de PFA superior sino también en ingeniería de precisión que ofrece confiabilidad, limpieza y rendimiento a largo plazo en entornos de fabricación avanzados.*

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Descripción del Producto

Los casetes de obleas de PFA semicorex son portadores de ingeniería diseñados para manejar, almacenar y transferir obleas de semiconductores en aplicaciones de fabricación avanzadas. Estos casetes se construyen a partir de polímeros perfluoroalkoxi (PFA) de alta pureza y presentan la resistencia química, la estabilidad térmica y la durabilidad mecánica requerida en la limpieza húmeda, el procesamiento químico y las aplicaciones de transporte de obleas. Las obleas permanecen protegidas de la contaminación, el daño mecánico y el ataque químico en los pasos críticos de transporte de obleas en el proceso de fabricación de semiconductores.


El uso de PFA como material principal para estos casetes de obleas es un cambio significativo con respecto a los portadores de polímeros tradicionales. La PFA tiene una resistencia superior a muchos ácidos, bases y solventes agresivos comunes en los pasos de limpieza del proceso húmedo (es decir, la limpieza de RCA, SC1, SC2) típicamente asociados con la fabricación de semiconductores. La inercia química de PFA asegura que las obleas no estén expuestas a la fugas de contaminación del portador en sí, por lo que los defectos no surgen de la falta de integridad del proceso. Además, poder soportar altas temperaturas permite a los casetes apoyar procesos que involucran baños químicos calientes o enjuagues de agua ultrapura caliente con un rendimiento estable y confiable.



Casettes de obleas de PFAestán diseñados con superficies lisas de precisión que también son no porosas para minimizar la adherencia a las partículas y permitir la limpieza. Los casetes de obleas logran altos niveles de limpieza en los fabricantes de hoy, donde incluso la contaminación submicrónica puede provocar una pérdida de rendimiento o falla del dispositivo. El tipo de contornos internos suaves reduce el rasguño de las delicadas superficies de obleas y permite el drenaje ordenado de líquidos después del procesamiento húmedo para evitar que una suspensión de residuos químicos permanezca o toque las obleas mientras aumenta la consistencia del proceso y la necesidad reducida de los esfuerzos de limpieza por segunda vez.


Una gran ventaja adicional de los casetes de obleas PFA es la precisión dimensional y la estabilidad estructural. El proceso de fabricación de cassette requiere tolerancias más estrictas de lo que normalmente se espera, lo que permite que el cassette mantenga firmemente obleas de tal manera que no hay un cambio no deseado o un contacto no deseado de las obleas durante la transferencia. Los casetes son de posición o con frecuencia, ya sea para el manejo manual o durante los sistemas de transporte de obleas automatizadas. Los casetes de obleas de PFA se ajustarán con precisión a los brotes físicos estándar asociados con los sistemas de manejo y transporte de obleas estándar de la industria. La fiabilidad del servicio larga y útil asociada con los casetes de obleas de PFA aumenta el valor de la inversión, ya que PFA puede resistirse a ser reutilizado después de repetidos químicos, ciclos térmicos y exposiciones mecánicas.


Los casetes de obleas PFA son activos valiosos no solo en el procesamiento de productos químicos húmedos para proteger a las obleas sino también para el almacenamiento y el transporte. Están construidos con materiales inertes para mantener limpias las obleas durante el proceso de enfriamiento, y su durabilidad debe limitar la rotura y los chips de borde del empaque y el transporte. Los casetes de obleas PFA son importantes para los fabricantes de semiconductores, así como laboratorios de investigación, fabricación fotovoltaica y otras industrias que necesitan manejo de obleas de alta pureza.


Casettes de obleas de PFATambién traiga sostenibilidad y costo favorables por uso. Los materiales de construcción son resistentes al ataque químico y fáciles de limpiar para que sean reutilizables, bajando los desechos y los desechables y alenten el uso repetido para disminuir los gastos operativos a largo plazo. Observar la descomposición común de una oblea cuando hay contaminación, disminuir los eventos de contaminación y la pérdida de obleas aumentará el rendimiento y disminuirá la defectividad. La pérdida de rendimiento y la mayor defectividad del lienzo son factores importantes en ontología sobre la competitividad de una operación de fabricación de semiconductores.


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