Portadores de obleas de PFA

PFA semicorexTransportista de obleasson portadores de alto rendimiento diseñados para el manejo seguro, el almacenamiento y el transporte de obleas de semiconductores en un entorno ultra limpio. La fabricación de semiconductores avanzados asegura que los portadores de obleas PFA ofrecen resistencia química inigualable, estabilidad térmica y control de partículas de la integridad y limpieza de las obleas durante la fabricación hasta las pruebas finales.

Hecho de nuevo PFA, estos portadores de obleas muestran una gran resistencia a los productos químicos fuertes como ácidos fuertes, bases y solventes que generalmente se usan en las obleas de limpieza y grabado. Las propiedades de lixiviación y desgasificación de iones muy bajas de PFA lo convierten en el material preferido para tareas importantes de la sala limpia, donde incluso pequeñas cantidades de contaminantes pueden afectar los rendimientos del dispositivo.

Los transportistas de obleas de PFA se fabrican en habitaciones limpias y trabajan con estándares de habitación limpia Clase 1 (ISO Clase 3). La superficie lisa y antiadherente de PFA minimiza la generación y adhesión de partículas, evitando la contaminación de residuos o partículas. Además, la naturaleza hidrofóbica de PFA facilita el enjuague exhaustivo y el secado rápido, reduciendo aún más el riesgo de contaminación cruzada durante los pasos de procesamiento húmedo.

Cada transportista de obleas PFA está hecho con precisión para asegurarse de que sea seguro e incluso el apoyo de las obleas durante el movimiento y el mantenimiento. Las ranuras ranuradas ayudan a las obleas con poco contacto, reduciendo el estrés y el golpe en los bordes de las obleas. Los portadores vienen en muchas formas para adaptarse a varios tamaños de obleas que incluyen diámetros de 100 mm, 150 mm, 200 mm y 300 mm. Los tops opcionales y las formas de bloqueo ajustados dan una seguridad adicional contra el shock a las mercancías, la vibración y la exposición al medio ambiente.

Debido a la excelente resistencia térmica de PFA hasta 260 ° C, es compatible con procesos de alta temperatura como difusión, oxidación y CVD de deposición de vapor químico. El transportista conserva su integridad estructural bajo ciclo térmico repetido y, por lo tanto, es adecuado para entornos de procesamiento por lotes y automatizados.

Los portadores de obleas PFA tienen amplias aplicaciones en la limpieza de obleas, grabado húmedo, CMP de fotolitografía y otros procesos front-end y back-end en la fabricación de IC. Su diseño y pureza robustos los hacen ideales para su uso en Fabs, Laboratorios de I + D y equipos OEM que requieren estrictos protocolos de control de contaminación.

PersonalizadoPortadores de obleas de PFASe puede desarrollar para cumplir con los requisitos de automatización específicos, incluidos el manejo robótico, los sistemas de pista y el transporte vertical/horizontal. Los portadores son totalmente compatibles con equipos de manejo de obleas estándar y herramientas de fabricación de semiconductores.