Calentador PBN

El calentador PBN de nitruro de boro pirolítico semicorex es un componente de calentamiento de alto rendimiento y de alto rendimiento diseñado para aplicaciones exigentes donde los materiales ultra limpios, químicamente estables y térmicamente eficientes son esenciales. Fabricado a través de un proceso de deposición de vapor químico (CVD), PBN exhibe una conductividad térmica excepcional, resistencia a alta temperatura e inercia química sobresaliente, lo que lo convierte en la opción ideal para el procesamiento de semiconductores, el crecimiento de cristales y las aplicaciones de vacío.

El calentador PBN es un calentador que utiliza PBN altamente aislante como sustrato y utiliza deposición química de vapor de descomposición térmica de baja presión (CVD) para cubrir PG conductor a baja presión (por debajo de 10TORR) y alta temperatura. Los componentes principales de este calentador compuesto son el nitruro de boro pirolítico (PBN) y el grafito pirolítico (PG). Debido a su excelente resistencia a la corrosión y alta resistencia a la temperatura, se usa principalmente para el calentamiento del sustrato semiconductor (utilizado en MBE, MOCVD, recubrimiento de pulverización, etc.); calefacción del sustrato superconductor; calefacción de muestra durante el análisis de la muestra; calentamiento de la muestra de microscopio electrónico; calefacción de metal; Fuente de calentamiento de evaporación de metal, etc.

PBN es inerte a gases corrosivos; tiene alta pureza (mayor al 99.99%); no se moja ni reacciona con la mayoría de los metales fundidos (tiene las características de una sartén antiadherente, y el metal puede usarse al 100%); tiene una buena resistencia a la temperatura alta (la temperatura de funcionamiento máxima es 2000 ℃); buena densidad; La buena resistencia al choque térmico y otras propiedades excelentes lo convierten en un material ideal para preparar calentadores compuestos PBN-PG. PG se puede calentar rápidamente a 1600 ℃ (en una atmósfera inerte y al vacío) en un calentador PBN. Al mismo tiempo, combinado con la buena conductividad térmica de PBN, la superficie de calentamiento tiene una buena uniformidad de calor. Con el rápido desarrollo de industrias relacionadas, la demanda de calentadores compuestos PBN-PG también ha aumentado rápidamente.

Los calentadores PBN se pueden fabricar en una variedad de formas y configuraciones para cumplir con los requisitos específicos de diseño e integración. Los diseños típicos incluyen calentadores planos, calentadores tubulares y geometrías personalizadas con elementos de calentamiento incrustados o montados en la superficie. Los elementos de calentamiento generalmente están hechos de grafito pirolítico (PG) y encapsulados en PBN, proporcionando una estructura completamente sellada, aislante eléctricamente y térmicamente eficiente.