Calentadores compuestos PBN

Los calentadores compuestos PBN semicorex fusionan la excelente conductividad térmica del grafito pirolítico con la inercia química y el aislamiento eléctrico del nitruro de boro pirolítico. Estos calentadores se construyen a partir de un grafito de muy alta pureza y PBN que se aplica utilizando un proceso CVD de alta calidad (deposición de vapor químico) en condiciones de deposición de alta pureza. Cada capa de logro individual se ha depositado con una capacidad de control muy extrema para garantizar una pureza ultra alta y propiedades térmicas consistentes. El núcleo de grafito, que proporciona calentamiento rápido y uniforme en todo momento, está protegido de la oxidación y la contaminación por la cápsula PBN; Esto hace que el calentador sea ideal para entornos de gas de vacío y ambientes de gas inerte. Estos calentadores PBN están diseñados a propósito para su uso en reactores MBE (epitaxia de haz molecular), reactores CVD y otros sistemas de crecimiento de cristales.

El calentador compuesto de grafito pirolítico de nitruro pirolítico (PBN-PG) es un calentador que utiliza PBN de alta aislamiento como sustrato y utiliza la deposición de vapor químico de descomposición térmica de baja presión (CVD) a baja presión (por debajo de 10Torr) y alta temperatura para cubrir el PG conductor. Los componentes principales de este calentador compuesto son el nitruro de boro pirolítico (PBN) y el grafito pirolítico (PG). Debido a su excelente resistencia a la corrosión y alta resistencia a la temperatura, se usa principalmente para el calentamiento del sustrato semiconductor (utilizado en MBE, MOCVD, recubrimiento de pulverización, etc.); calefacción del sustrato superconductor; calefacción de muestra durante el análisis de la muestra; calentamiento de la muestra de microscopio electrónico; calefacción de metal; Fuente de calentamiento de evaporación de metal, etc.

Los calentadores PBN pueden soportar temperaturas de funcionamiento de hasta 1600 ° C en el vacío y tener una capacidad mejorada para resistir el choque térmico sobre cualquier alternativa a base de metal en las que confiaría. La superficie del calentador es extremadamente suave y densa y produce significativamente menos partículas durante la operación, lo que es crítico para las aplicaciones donde la contaminación no puede ser tolerada, como el procesamiento de obleas de semiconductores.

La estructura compuesta proporciona una excelente uniformidad térmica en la superficie del calentador, y sus caminos resistentes se pueden personalizar para permitir una distribución de calor a medida. Este diseño permite ciclos rápidos de aumento y espolón durante el procesamiento sin agrietarse y delaminar debido a los mismos coeficientes de expansión térmica de los materiales usados. Los electrodos son capaces de resistir la operación continua de alta corriente y también son compatibles en el vacío.

Semicorex proporciona flexibilidad de diseño ilimitada para formas, tamaños y requisitos de potencia únicos cuando sea necesario, para satisfacer las necesidades específicas de la aplicación; Ya sea para tamaños de obleas estándar, o geometrías más complejas, garantizamos la precisión dimensional y la uniformidad térmica en cada unidad producida.

Los calentadores compuestos PBN son perfectos para aplicaciones ultra limpias, que incluyen:

• Sistemas MBE para el procesamiento de semiconductores compuestos III-V e II-VI
• Sistemas de recubrimiento de vacío para componentes ópticos
• Sistemas de crecimiento de cristales para zafiro y sic
• Procesamiento térmico de alta pureza para entornos de laboratorio de investigación y desarrollo.