¿Cómo se producen realmente los mandriles electrostáticos de cerámica?

Los métodos tradicionales de sujeción de obleas incluyen la sujeción mecánica comúnmente utilizada en las industrias mecánicas tradicionales y la unión con cera, los cuales pueden dañar fácilmente la oblea, provocar deformaciones y contaminarla, lo que afecta significativamente la precisión del procesamiento.

¿Cómo evolucionaron los mandriles de vacío y por quéMandriles electrostáticos de cerámica¿Privilegiado?

Con el tiempo, se desarrollaron platos de vacío fabricados con cerámica porosa. Estos mandriles utilizan la presión negativa formada entre la oblea de silicio y la superficie cerámica para sujetar la oblea, lo que puede causar deformación local y afectar la planitud. Por ello, en los últimos años,mandriles electrostáticos de cerámica, que proporcionan una fuerza de adsorción estable y uniforme, previenen la contaminación de las obleas y controlan eficazmente la temperatura de las obleas de silicio, se han convertido en las herramientas de sujeción ideales para obleas ultrafinas.

¿Cómo es el proceso de producción deMandriles electrostáticos de cerámica¿Realizado?

Generalmente se utiliza la tecnología de cococción de cerámica multicapa, que incluye procesos como fundición de cinta, corte, serigrafía, laminación, prensado en caliente y sinterización.

Para tipo Coulombmandriles electrostáticos, la capa dieléctrica no contiene materiales conductores. Implica mezclar polvos cerámicos, disolventes, dispersantes, aglutinantes, plastificantes y coadyuvantes de sinterización para crear una suspensión estable. Luego, esta suspensión se recubre con una cuchilla doctora, se seca y se corta para formar láminas de cerámica verde de un espesor específico. Para tipo JRmandriles electrostáticos, se mezclan ajustadores de resistividad adicionales (materiales conductores) para lograr la resistencia requerida de la capa J-R, seguido de la fundición en cinta para formar las láminas verdes.

La serigrafía se utiliza principalmente para preparar la capa de electrodo. Primero se vierte pasta conductora en un extremo de la plancha de serigrafía. Bajo la acción de la escobilla de goma sobre la impresora de pantalla, la pasta conductora pasa a través de las aberturas de malla de la placa de pantalla y se deposita sobre el sustrato. El proceso de impresión se completa cuando la escobilla de goma esparce la pasta plateada uniformemente a través de la malla de la pantalla.

Las láminas cerámicas verdes se apilan en el orden requerido (capa de sustrato, capa de electrodo, capa dieléctrica) y número de capas. Luego se presionan entre sí en condiciones específicas de temperatura y presión para formar un cuerpo verde completo. Es fundamental garantizar que la presión se distribuya uniformemente por toda la superficie del cuerpo en verde para garantizar una contracción uniforme durante la compresión.

Finalmente, el cuerpo crudo completo se somete a una sinterización integrada en un horno. Se debe establecer un perfil de temperatura adecuado para garantizar el control de la planitud y la contracción durante el proceso de sinterización. Se informa que NGK de Japón puede controlar la tasa de contracción del polvo durante la sinterización a alrededor del 10%, mientras que la mayoría de los fabricantes nacionales todavía tienen una tasa de contracción del 20% o más.**

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