¿Qué es un barco de SiC y cuáles son sus distintos procesos de fabricación?

1. Los diferentes procesos de fabricación deBarco de SiC

(1) Recubrir una capa depelícula de sicen la superficie del grafitobarcos de cristala través de enfermedades cardiovasculares

Este tipo de embarcaciones tienen un núcleo de grafito, que está mecanizado en una sola pieza. Sin embargo,el grafito es porosoy propenso a la generación de partículas, lo que requiere la aplicación de unRecubrimiento de película de SiCen su superficie. Debido al desajuste en el coeficiente de expansión térmica (CTE) entre el cuerpo de grafito y elpelícula de sic, es probable que el recubrimiento se desprenda después de múltiples ciclos de calentamiento y enfriamiento, lo que provoca contaminación por partículas. Estos barcos son los más baratos y tienen una vida útil de aproximadamente un año.

(2) Recubrir una capa depelícula de sicen recristalizadoBarcos de cristal de SiC

RecristalizadoBarcos de SiCTambién son porosos y pueden generar partículas fácilmente. Por lo tanto, los componentes individuales del recristalizadoBarcos de SiCdebe ser preformado, sinterizado y luego mecanizado por separado. Después, los componentes se unen a altas temperaturas utilizando pasta de Si. Una vez ensamblado en un solo barco, unpelícula de sicse aplica mediante derechos compensatorios. Este recristalizadobarco de sictiene el proceso de fabricación más largo y costoso, pero la superficieRecubrimiento CVDTambién puede dañarse, con una vida útil de unos tres años.

(3)MonolíticoBarcos de cristal de SiC

EstosbarcosEstán compuestos enteramente de material SiC. El polvo de SiC debe moldearse y sinterizarse para darle la forma de un barco monolítico. Extremadamente costosos, son muy duraderos y es menos probable que generen partículas. Sin embargo, estos barcos contienen entre un 10 y un 15% de silicio libre, que es susceptible a la erosión por el flúor y el cloro, lo que provoca contaminación por partículas.

2. ¿Por qué no se recomienda la limpieza en seco?

En resumen, paraBarcos de SiCrecubierto con unPelícula de SiC a través de CVD, el revestimiento de la superficie es propenso a pelarse durante la limpieza en seco, lo que provoca contaminación por partículas. Para monolíticoBarcos de SiCque contienen una pequeña cantidad de silicio libre, la exposición a gases que contienen flúor o cloro puede provocar erosión y generación de partículas, provocando así contaminación.**