Industria del carburo de silicio

La industria del carburo de silicio implica una cadena de procesos que incluyen la creación de sustratos, el crecimiento epitaxial, el diseño y la fabricación de dispositivos, el embalaje y las pruebas. En general, el carburo de silicio se crea en forma de lingotes, que luego se cortan, se muelen y se pulen para producir unsustrato de carburo de silicio. El sustrato pasa por el proceso de crecimiento epitaxial para producir unoblea epitaxial. Luego, la oblea epitaxial se utiliza para crear un dispositivo mediante varios pasos, como fotolitografía, grabado, implantación de iones y deposición. Las obleas se cortan en troqueles y se encapsulan para obtener los dispositivos. Finalmente, los dispositivos se combinan y ensamblan en módulos en una carcasa especial.

El valor de la cadena de la industria del carburo de silicio se concentra principalmente en el sustrato ascendente y los enlaces epitaxiales. Según datos de CASA, el sustrato representa aproximadamente el 47% del coste de los dispositivos de carburo de silicio y el enlace epitaxial representa el 23%. El costo antes de la fabricación representa el 70% del costo total. Por otro lado, para los dispositivos basados ​​en Si, la fabricación de obleas representa el 50% del costo y el sustrato de oblea solo representa el 7% del costo. Esto resalta el valor del sustrato aguas arriba y los enlaces epitaxiales para los dispositivos de carburo de silicio.

A pesar de que elsustrato de carburo de silicioyepitaxialLos precios son relativamente caros en comparación con la oblea de silicio, la alta eficiencia, la alta densidad de potencia y otras características de los dispositivos de carburo de silicio los hacen atractivos para diversas industrias, incluidos los vehículos de nueva energía, la energía y los sectores industriales. Por lo tanto, se espera que la demanda de dispositivos de carburo de silicio aumente rápidamente, lo que impulsará la penetración del carburo de silicio en diversos campos.