Recubrimiento TaC con método CVD

El recubrimiento de carburo de tantalio es un importante material estructural de alta resistencia, resistente a la corrosión y químicamente estable a altas temperaturas con un punto de fusión de hasta 4273 °C, uno de los varios compuestos con mayor resistencia a la temperatura. Tiene excelentes propiedades mecánicas a alta temperatura, resistencia al desgaste por flujo de aire a alta velocidad, resistencia a la ablación y buena compatibilidad química y mecánica con grafito y compuestos de carbono/carbono. Por lo tanto, en el proceso epitaxial de los LED de GaN y los dispositivos de potencia de SiC como MOCVD, el recubrimiento de TaC tiene una excelente resistencia a ácidos y álcalis contra H2, HCl y NH3, lo que puede proteger completamente el material del sustrato de grafito y purificar el entorno de crecimiento.

El recubrimiento de TaC permanece estable a temperaturas superiores a 2000 °C, mientras que el recubrimiento de SiC comienza a descomponerse a 1200-1400 °C, lo que también mejorará en gran medida la integridad del sustrato de grafito. Actualmente, los recubrimientos de carburo de tantalio se preparan sobre sustratos de grafito principalmente mediante CVD, y la capacidad de producción de recubrimientos de TaC se mejorará aún más para satisfacer la demanda de dispositivos de potencia de SiC y dispositivos epitaxiales GaNLED.

El sistema de reacción química utilizado para depositar recubrimientos de carburo de tantalio sobre materiales de carbono mediante deposición química de vapor (CVD) es TaCl5, C3H6, H2 y Ar, donde Ar se utiliza como gas de dilución y transporte.

Los recubrimientos de carburo de tantalio desempeñan un papel fundamental en el proceso epitaxial de los LED de GaN y los dispositivos de potencia de SiC que utilizan MOCVD. Los materiales avanzados protegen componentes vitales, asegurando su longevidad y rendimiento en las duras condiciones asociadas con la fabricación de semiconductores a alta temperatura.

A medida que la demanda de dispositivos de potencia de SiC y LED de GaN continúa aumentando, la capacidad de producción de recubrimientos de carburo de tantalio se expandirá. Los fabricantes están preparados para satisfacer los crecientes requisitos de estas industrias, facilitando la evolución de la tecnología de alta temperatura.

En conclusión,recubrimientos de carburo de tantaliorepresentan un increíble salto tecnológico para garantizar la durabilidad y confiabilidad de los materiales en ambientes de alta temperatura. A medida que continúan revolucionando los sectores de semiconductores y electrónica de potencia, estos recubrimientos subrayan su condición de elemento crítico de los avances modernos de alta tecnología.