¿Qué son las paletas voladizas?

Durante el procesamiento de obleas semiconductoras, se utilizan hornos especializados para calentar las obleas. Estos hornos contienen tubos cilíndricos alargados donde las obleas se colocan en botes de obleas en posiciones predeterminadas y equidistantes. Para garantizar que el equipo de procesamiento no desperdicie las obleas y para resistir las condiciones de procesamiento dentro de la cámara, los botes de obleas y otros dispositivos utilizados en el procesamiento de obleas se fabrican con materiales como el carburo de silicio (SiC).

Los barcos de obleas, cargados con un lote de obleas para procesar, se colocan sobre largas paletas en voladizo. Estas paletas se pueden insertar y retirar de los hornos y reactores tubulares. Los remos constan de una sección de soporte aplanada que puede contener una o más embarcaciones y un mango largo ubicado en un extremo de la sección de soporte aplanada para un fácil manejo.

Para obtener los mejores componentes en el procesamiento de semiconductores, se recomienda utilizar una paleta en voladizo hecha de carburo de silicio recristalizado con una fina capa de CVD SiC. Este material es de alta pureza y es la mejor opción para dichos componentes.

Semicorex fabrica paletas voladizas personalizadas con revestimiento CVD SiC de alta calidad. Si tiene alguna consulta o necesita detalles adicionales, no dude en ponerse en contacto con nosotros.

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