Tubo guía interior

El tubo guía interno Semicorex es un tubo guía diseñado con precisióncomponente carbono/carbono (C/C)Diseñado para aplicaciones avanzadas de campos térmicos de alta temperatura, particularmente en el crecimiento de cristales de silicio de alta pureza. Como elemento crítico dentro de los hornos de crecimiento de cristales, este componente desempeña un papel central en la configuración y estabilización del gradiente térmico, lo que garantiza una formación óptima de cristales y una calidad constante del material.

Fabricado con compuesto de carbono reforzado con fibra de carbono de alta densidad, el tubo guía interior ofrece una integridad estructural y estabilidad térmica excepcionales en condiciones extremas. Con una densidad de ≥1,35 g/cm³ y una resistencia a la flexión de ≥110 MPa, mantiene la robustez mecánica incluso durante una exposición prolongada a temperaturas elevadas. Estas propiedades son esenciales en la producción de silicio de grado semiconductor, donde incluso fluctuaciones menores en las condiciones térmicas pueden afectar significativamente la uniformidad del cristal y las tasas de defectos.

Funcionalidad principal: control de gradiente de precisión

La función principal del tubo guía interno C/C es construir un campo de temperatura de gradiente preciso. Durante el proceso de crecimiento del cristal de silicio, se coloca directamente encima de la masa fundida para:

Flujo directo de gas: guía el flujo de gas argón inerte, asegurando que los vapores de óxido de silicio (SiO) sean barridos eficientemente de la superficie fundida, evitando la contaminación por oxígeno en el cristal.

Blindaje térmico: Protege el cristal en crecimiento de la radiación de calor directa de las paredes del crisol, estableciendo el gradiente de temperatura axial pronunciado necesario para la extracción del cristal a alta velocidad y alta calidad.

Eficiencia energética: al concentrar el calor dentro de la zona de fusión y aislar los componentes superiores del horno, se reduce significativamente el consumo total de energía.

Especificaciones técnicas y excelencia de materiales

Nuestros tubos guía internos se fabrican con alta densidad.Carbono/compuestos de carbono, proporcionando una alternativa superior al grafito tradicional. Las propiedades del material están optimizadas para las condiciones extremas de los hornos de vacío de semiconductores:

Densidad: ≥ 1,35 g/cm³

Resistencia a la flexión: ≥ 110 MPa

Coeficiente de expansión térmica (CTE): ≤ 1,0 × 10⁻⁶ /K

Conductividad térmica (temperatura ambiente): ≤ 10 W/(m·K)

Industria

A medida que la industria avanza hacia tamaños de oblea más grandes (300 mm y 450 mm), las demandas en el campo térmico aumentan exponencialmente. Nuestros tubos guía internos son compatibles con las principales marcas de hornos CZ y se pueden personalizar en términos de geometría y recubrimiento.