Electrodo de grafito

El electrodo de grafito Semicorex es un componente de grafito fabricado con precisión y alta pureza para su uso en aplicaciones térmicas de semiconductores, donde la conductividad eléctrica, la estabilidad térmica y la precisión dimensional son primordiales. De hecho, este tipo de electrodos se utilizan en hornos de alta temperatura, reactores de epitaxia y cámaras de procesamiento térmico, facilitando la conducción estable de corriente, la transferencia de calor y la estabilidad en condiciones agresivas de temperatura y atmósfera. Debido a la extrema pureza, la uniformidad de la estructura sólida y las altas propiedades mecánicas de los electrodos de grafito Semicorex, pueden proporcionar un rendimiento térmico confiable como elementos calefactores en aplicaciones de semiconductores exigentes.

El electrodo de grafito está fabricado con material de grafito de grano fino de alta calidad; cada uno se fabrica mediante una secuencia avanzada de extrusión, carbonización a alta temperatura y grafitización. La microestructura de grafito está diseñada para una resistividad eléctrica aproximadamente constante, una alta conductividad térmica y una estabilidad mecánica. El producto final es un conductor térmico de alta pureza que mantiene una condición física y una distribución uniforme de la corriente en entornos de alta potencia, así como en rápidas fluctuaciones de temperatura.

Ultra rendimiento en nuestrografito

Nuestro grafito garantiza una uniformidad de rendimiento superior. En primer lugar, durante el proceso de carbonización, nuestros hornos cuentan con sólo 115 metros cúbicos. Nuestro equipo técnico monitorea el campo de temperatura de los productos de grafito en diferentes áreas de cada horno. En la etapa inicial de baja temperatura (0-200°C), controlamos la temperatura dentro de ±10°C, y en temperaturas altas (por encima de 600°C), dentro de ±1°C. No solo monitoreamos el campo de temperatura entre diferentes partículas de grafito, sino también la temperatura superficial e interna de cada pieza de grafito individual, controlándola dentro de ±3°C. Monitorizamos 8 puntos de temperatura en cada horno de carbonización.

sirve para garantizar niveles increíblemente bajos de impurezas metálicas (e impurezas gaseosas), a menudo más del 99,999% de carbono. Estos bajos niveles de impurezas ayudan a evitar la contaminación de las obleas semiconductoras durante el procesamiento térmico. Combinados con la importante profundidad de mecanizado y el acabado superficial pulido, los electrodos de grafito Semicorex cumplen con la estabilidad mecánica y química de las tecnologías de fabricación de obleas de última generación.

En el campo térmico de semiconductores, el electrodo de grafito es una parte fundamental del conjunto calefactor, ya que dirige la corriente eléctrica hacia la zona de calentamiento y permite la distribución controlada de la temperatura a lo largo de un proceso específico, como oxidación, difusión, LPCVD o epitaxia. El electrodo de grafito debe desempeñar una función operativa confiable a temperaturas superiores a 2000 °C y hacerlo mientras resiste la oxidación, la deformación o la contaminación del sitio de calentamiento.

Los electrodos de grafito Semicorex tienen una excelente conductividad eléctrica, lo que facilita la entrega efectiva de energía con pérdidas mínimas, y poseen una excelente conductividad térmica, lo que permite una transferencia de calor rápida y uniforme en el horno. La combinación de baja expansión térmica y alta resistencia mecánica reduce la deformación y el agrietamiento durante el ciclo térmico, lo que produce un comportamiento estable durante largos períodos de vida útil. Cada electrodo está mecanizado con tolerancias dimensionales estrictas y un acabado superficial fino para garantizar un contacto constante y una resistencia eléctrica insignificante en la superficie de contacto.

Teniendo en cuenta los requisitos específicos de los procesos de semiconductores, Semicorex puede diseñar diseños de electrodos personalizados para adaptarse a cualquier configuración de horno y especificación de potencia. Se pueden ofrecer diferentes diámetros, longitudes, tipos de conexiones o acabados superficiales. Cuando sea necesario, se pueden aplicar materiales de recubrimiento, como SiC o carbón pirolítico, para respaldar la resistencia a la oxidación y la vida útil en entornos con alto contenido de oxígeno o gases reactivos.

La alta pureza delmaterial de grafitosirve para garantizar niveles increíblemente bajos de impurezas metálicas (e impurezas gaseosas), a menudo más del 99,999% de carbono. Estos bajos niveles de impurezas ayudan a evitar la contaminación de las obleas semiconductoras durante el procesamiento térmico. Combinados con la importante profundidad de mecanizado y el acabado superficial pulido, los electrodos de grafito Semicorex cumplen con la estabilidad mecánica y química de las tecnologías de fabricación de obleas de última generación.

Ya sea que se utilice en hornos de difusión, reactores epitaxiales o equipos de procesamiento de alta temperatura, el electrodo de grafito Semicorex proporciona un rendimiento inigualable en los entornos térmicos más exigentes. Al combinar alta pureza, geometría precisa y procesamiento avanzado de materiales, Semicorex ofrece una solución de electrodos que garantiza una conducción de corriente estable, un calentamiento constante y una confiabilidad operativa a largo plazo, esenciales para la fabricación de semiconductores de próxima generación.