Grafito

El chuck de grafito semicorex está diseñado desdegrafito especializado, reconocido por su excepcional resistencia térmica y química. Un ejemplo único de un chuck de grafito que fue diseñado específicamente de esa forma de grafito porque es conocido por su muy alta resistencia a los productos químicos y al calor. Esto hace que los Chucks sean muy duraderos y se desempeñen en las condiciones más difíciles en uso en deposición de vapor químico (CVD) o grabado de plasma o incluso en un horno de alta temperatura. Como tal, la alta pureza con impurezas muy bajas ya significaría que no causarían contaminación durante la producción de polisilicio. Son capaces de llevar temperaturas muy por encima de 2000 ° C sin ninguna deformación notable, ya que son muy estables a través de una temperatura aumentada. Además, también tienen una resistencia superior a la mayoría de los productos químicos y, por lo tanto, sobrevivirán en condiciones muy difíciles, como en el ácido clorhídrico (HCl) o el tetracloruro de silicio (SICL4). La alta resistencia mecánica significa aún que el Chuck puede retener su forma incluso cuando se somete a una carga continua.

El chuck de grafito es crítico en el procesamiento de obleas y el crecimiento de cristales; Juegan un papel principal en toda la fabricación en cualquier etapa, como la deposición de vapor químico (CVD), donde aseguran una deposición uniforme de silicio. Durante el corte y el pulido, ofrecen un soporte estable para el corte de obleas y el acabado de la superficie. En el procesamiento térmico, actúan como una base resistente al calor para los procesos de recocido y dopaje de obleas de silicio, mejorando significativamente la eficiencia y la calidad de la línea de producción.

¿Cómo garantizamos la uniformidad del rendimiento de nuestrografito?

Primero, carbonización. Nuestro horno tiene solo 115 metros cúbicos. Nuestro equipo técnico probará el campo de temperatura de los productos de grafito en diferentes áreas de cada horno. En el estado de baja temperatura (0-200 °) Cuando la temperatura comience a aumentar, la controlaremos a aproximadamente ± 10 °, y en el estado de alta temperatura (por encima de 600 °), la controlaremos a ± 1 °. No solo probaremos el campo de temperatura entre diferentes grafitos, sino que también probaremos la superficie y la temperatura interna de cada pieza de material de grafito, y lo controlaremos a ± 3 °. Probamos 8 puntos de temperatura en cada horno en el horno de carbonización.

El segundo es la grafitización. Tomando 500 kg como ejemplo, también probaremos 8 puntos de temperatura. Las muestras se inspeccionan aleatoriamente en cualquier posición del producto grafitizado para pruebas destructivas. Después de la destrucción, se prueban 24 puntos. Las pruebas se realizan por separado del eje XYZ para garantizar su uniformidad. La mayoría de las empresas de la industria solo probarán el eje X o como máximo el eje XY.

Los fabricantes generales solo prueban 6-8 puntos, y los mejores prueban 12 puntos, mientras probamos 24 puntos.

El chuck de grafito semicorex es una solución indispensable para los fabricantes de polisilicio que buscan herramientas de alto rendimiento, confiables y rentables. Con propiedades avanzadas de materiales e ingeniería de precisión, nuestro producto mejora la eficiencia y la calidad de la producción de obleas de silicio en la industria solar. Para obtener más información o especificaciones personalizadas, contáctenos hoy.