Cubra de carbono vidrioso

El recubrimiento de carbono vítreo semicorex actúa como una capa de aislamiento interno en reactores epitaxiales de carburo de silicio. Es un material de aislamiento de alto rendimiento diseñado para entornos térmicos avanzados. Este producto supera los típicos desafíos de fabricación de alta temperatura semiconductores al ofrecer soluciones superiores debido a sus propiedades livianas y excelentes de aislamiento térmico defieltro de grafito, junto con la integridad de la superficie y la inercia química impartida por un revestimiento de carbono vidrioso.

El material base es una alta purezafieltro de grafitoeligió por su baja conductividad térmica estabilidad de alta temperatura y peso ligero. El sentido de grafito normal generalmente tiene desprendimiento de fibra superficial y generación de partículas a temperaturas elevadas que pueden contaminar el entorno del proceso en sistemas epitaxiales sensibles. Para mitigar este problema, la superficie del grafito que se siente está recubierta uniformemente con una capa de carbono vidrioso, una forma densa y no porosa de carbono conocida por su inercia química, baja permeabilidad de gases y estabilidad térmica excepcional.

El carbono vidrioso es un carbono no grafitizado que combina las propiedades del vidrio y la cerámica. A diferencia del grafito cristalino, es un material de carbono hibridado amorfo, casi 100% SP2, que está formado por sinterización de alta temperatura de precursores orgánicos polimerizados, como resina fenólica, resina de alcohol furfurílico, etc., en una atmósfera de gas inerte. Debido a que es negro en todas partes y tiene una superficie lisa similar al vidrio, se llama carbono vidrioso.

El recubrimiento de carbono vidrioso puede eliminar la generación de partículas de horno, proporcionar poros de superficie sellados, tener excelentes propiedades de desmoldeamiento y reducir la permeabilidad, lo que hace que este material sea muy adecuado para moldes y productos de fundición continua en la industria de los semiconductores. Este material tiene una amplia gama de aplicaciones en la industria de semiconductores, especialmente en piezas de grafito, como componentes de equipos de tracción de silicio de un solo cristal, componentes de crecimiento epitaxial, moldes de fundición continua, plantillas de sellado de vidrio, etc.

El carbono vidrioso tiene una alta resistencia a la temperatura de hasta 3000 ° C en gas o vacío inerte, y a diferencia de todos los demás materiales de cerámica y metálica de alta temperatura, la resistencia del carbono vidrioso aumenta con el aumento de la temperatura de hasta 2700k, y no se vuelve frágil y tiene resistencia de choque térmico extremadamente alta, por lo que los tiempos de calentamiento y enfriamiento extremadamente no son problemas. Además, el carbono vidrioso tiene baja masa, baja absorción de calor y baja expansión térmica, por lo que es adecuado para casi todas las aplicaciones de alta temperatura.

El recubrimiento de carbono vidrioso juega un papel crucial en el sellado de los poros superficiales del fieltro de grafito, lo que reduce significativamente la liberación de partículas y el polvo de carbono durante la operación. Esto es especialmente crítico en los procesos de crecimiento epitaxial SIC, donde incluso la contaminación mínima puede comprometer la calidad de la oblea y el rendimiento del dispositivo. Al encapsular la estructura porosa del fieltro con una cáscara de carbono vidriosa suave y dura, el recubrimiento garantiza un ambiente térmico limpio y estable dentro de la cámara de reacción.

Las ventajas clave del recubrimiento de carbono vidrioso incluyen:

Desprendimiento de partículas reducidas: el recubrimiento denso se bloquea efectivamente en fibras y partículas sueltas, evitando la contaminación de las obleas y los componentes del reactor.

Alta estabilidad térmica: tanto el grafito de fieltro como el carbono vidrioso pueden soportar temperaturas superiores a 2000 ° C en atmósferas inertes o de vacío, lo que hace que el producto sea ideal para procesos SIC de alta temperatura.

Inertidad química: la superficie de carbono vidriosa es resistente a la mayoría de los ácidos y gases corrosivos, extendiendo la vida operativa de la capa de aislamiento en condiciones duras.

Consistencia del proceso mejorada: la generación de partículas minimizadas contribuye a un entorno de crecimiento epitaxial más estable y repetible, que es esencial para producir obleas SIC de alta calidad.

Las aplicaciones de recubrimiento de carbono vidrioso se sienten se extienden principalmente a los hornos de crecimiento epitaxial de SiC, donde se usa como una capa de aislamiento térmico dentro de la zona caliente. El producto generalmente se instala como material de revestimiento en las pilas de aislamiento superior o inferior, donde proporciona protección térmica y garantía de limpieza.