Mandriles de alúmina con ranuras anulares

Los mandriles de alúmina con ranuras anulares Semicorex adoptan una estructura superficial que consta de una serie de múltiples ranuras anulares concéntricas. Cuando se conectan con la bomba de vacío, estas ranuras forman zonas de presión negativa en forma de anillo para sujetar de manera estable obleas delgadas y piezas de trabajo con un posicionamiento preciso. Los mandriles de alúmina con ranuras anulares Semicorex funcionan bien en condiciones de trabajo que requieren un estricto control de la planitud y una fuerza de adsorción distribuida uniformemente, que se aplican ampliamente en la sujeción de obleas, el posicionamiento de exposición, el grabado con plasma, así como en los procesos de inspección y transferencia de obleas.

Ventajas de los mandriles de alúmina con ranura anular Semicorex

1. Excepcional resistencia a altas temperaturas

Las cerámicas de alúmina fabricadas mediante sinterización por densificación exhiben un rendimiento térmico notable. Debido a esta propiedad del material, los mandriles de alúmina con ranuras anulares Semicorex funcionan de manera estable en entornos de trabajo de temperaturas extremadamente altas sin deformación estructural ni degradación del rendimiento en el uso a largo plazo.

2. Fuerza de adsorción uniforme

Semicorex de ranura anularmandriles de alúminaEn su superficie de adsorción presentan múltiples ranuras anulares, en las que se forman zonas de vacío estables en forma de anillo. Esta configuración permite una fuerza de adsorción constante en las principales áreas de contacto de la oblea, lo que reduce significativamente la deformación y alabeo parcial de la oblea.

3. Estabilidad estructural superior y alta precisión de posicionamiento repetido

Con una rigidez del material y una estabilidad estructural superiores, los mandriles de alúmina con ranuras anulares Semicorex pueden mantener una planitud excelente y una precisión de posicionamiento constante durante operaciones repetidas de sujeción al vacío durante mucho tiempo.

4. Fuerte resistencia a la corrosión química

Debido aalúminaGracias a la confiable estabilidad química de Semicorex, los mandriles de alúmina con ranura anular presentan una excelente resistencia a la mayoría de las sustancias ácidas y alcalinas, así como a diversos gases de proceso corrosivos, y están altamente adaptados a condiciones operativas corrosivas desafiantes.

5. Excelente limpieza

Gracias al estricto control de pureza del material y al tratamiento de densificación, los mandriles de alúmina con ranuras anulares Semicorex rara vez arrojan partículas o liberan impurezas en servicio, lo que satisface plenamente los rigurosos estándares de baja contaminación en salas blancas de semiconductores.

¿Por qué elegir Semicorex?

Como empresa líder de la industria en China, Semicorex cuenta con el respaldo de líneas de producción integradas y un equipo técnico con mucha experiencia. Podemos ofrecer soporte técnico personalizado y soluciones de proceso optimizadas a nuestros clientes y brindarles una fabricación personalizada no estándar de nuestros mandriles de alúmina con ranuras anulares en cuanto a pureza del material, forma, dimensiones, planitud, tolerancias y otros requisitos de los mandriles.