Brazo robot de alúmina

Semicorex Alumina Robot Arm es una parte cerámica de alto rendimiento diseñada para tareas de manejo y transferencia de obleas en la producción de semiconductores. Hecho de cerámica de alúmina de alta pureza (al₂o₃), este brazo robótico ofrece flexibilidad, precisión, confiabilidad y durabilidad en las salas limpias.

Lo que se destaca a favor del brazo robot de alúmina son las propiedades dealúmina cerámicaresistencia mecánica y dureza. Comoalúminase hace más pura, la alúmina mantiene una mejor integridad estructural y la hace más resistente al desgaste mecánico y la deformación. Como material, la alúmina es una gran opción para las piezas robóticas que se usan en tareas delicadas y repetitivas de manejo de obleas, es decir, cuando un brazo robot necesita realizar la misma función y hacer contacto con obleas, esa distorsión menor aplicada a la oblea por el brazo robot puede costar una pérdida de rendimiento de la instalación. La alta dureza, es decir, superficies rígidas, puede ayudar con la resistencia abrasiva y la vida funcional, es decir, extender la vida y duración del servicio/ reemplazo en un componente robótico.

Más allá de su durabilidad mecánica, el brazo del robot de alúmina también es un excelente aislante eléctrico. La resistividad es de hasta 10lu⁵ Ω · cm y la resistencia al aislamiento es de hasta 15 kV/mm a temperatura ambiente, proporcionando un entorno mucho más seguro para operar, especialmente cuando las señales eléctricas interferentes deben disminuir en el equipo de procesamiento. Esto se vuelve importante al proteger los componentes de semiconductores sensibles que se transfieren entre procesos con riesgo mínimo de daño por descarga electrostática (ESD).

La cerámica de alúmina es excelente para mantener la estabilidad a temperaturas muy altas. El punto de fusión es de aproximadamente 2050 ° C y resistirá altas temperaturas en el procesamiento térmico semiconductor sin deformación o precisión dimensional. La alta resistencia al calor permite que el brazo se use en procesos como el recocido térmico rápido (RTA) o la deposición de vapor químico (CVD), donde la alineación de precisión y la estabilidad térmica son críticos.

Uno de los otros beneficios significativos del brazo del robot de alúmina es su inercia. Su superficie es inerte para la mayoría de los agentes de limpieza y los gases de proceso utilizados en la fabricación de semiconductores. Por lo tanto, permanecerá libre de contaminación y no contribuirá a la contaminación de la superficie de la oblea. Esta inercia química es clave para lograr condiciones de producción ultra limpia y proporcionar un rendimiento constante del dispositivo.

Alúmina cerámicaTambién es una opción asequible para las herramientas de semiconductores. Está fácilmente disponible como materia prima y los procesos de mecanizado de la cerámica de alúmina se entienden bien y son fácilmente escalables. Esto permite que las tolerancias reproducibles y consistentes para que las piezas de alta calidad se produzcan a un precio competitivo. La combinación de rendimiento y asequibilidad hace que el brazo del robot de alúmina sea ideal para los fabricantes de OEM y semiconductores, donde necesita componentes de automatización confiables que no rompan el banco.

En resumen, el brazo del robot de alúmina proporciona un alto rendimiento mecánico, alto rendimiento dieléctrico, alta resistencia térmica, alto rendimiento químico, todo con capacidad de fabricación comprobada a un precio económico. Colectivamente, estas características de rendimiento lo hacen confiable y eficiente para las aplicaciones de manejo de obleas de precisión en la fabricación de semiconductores, lo que permite un mayor rendimiento, reduciendo potencialmente el riesgo de contaminación y mejorando la efectividad general del equipo.