Brazos robóticos de alúmina Bernoulli

Los brazos robóticos se aplican principalmente en los procesos iniciales de fabricación de semiconductores, como la fotolitografía y el grabado, donde participan directamente en el manejo, transferencia y posicionamiento de obleas semiconductoras. semicorexalúminaLos brazos robóticos Bernoulli son efectores finales cerámicos que logran la adsorción y transferencia de obleas según el principio de Bernoulli, brindando un rendimiento excepcional en limpieza, estabilidad, precisión, eficiencia y confiabilidad.

Adsorción sin contacto

Los brazos robóticos de alúmina Bernoulli de Semicorex pueden lograr una adsorción firme y estable de obleas sin contacto utilizando su configuración y sistema de flujo de aire especialmente diseñados. Este método operativo sin contacto puede evitar el contacto directo con las obleas semiconductoras y prevenir en gran medida la contaminación o los daños provocados por el contacto físico, lo cual es especialmente apropiado para las condiciones de trabajo ultralimpias y la delicada transferencia de obleas.

Rendimiento físico y químico confiable

La cerámica de alúmina presenta una dureza y resistencia excelentes, lo que hace que la alúmina Bernoulli de Semicorexbrazos robóticosMuy adecuado para el manejo a largo plazo de obleas semiconductoras sin deformaciones ni daños.

Los brazos robóticos de alúmina Bernoulli de Semicorex también ofrecen una resistencia confiable a la corrosión química y pueden soportar los desafiantes entornos operativos de plasma y gases corrosivos, exhibiendo una durabilidad constante durante un largo período de tiempo.

Estricto control de limpieza

Los brazos robóticos de alúmina Bernoulli de Semicorex se fabrican a partir de polvo de alúmina de alta pureza mediante prensado isostático de precisión y sinterización a alta temperatura. Este método preciso de selección y procesamiento de materiales permite que los brazos robóticos Bernoulli de alúmina Semicorex tengan una estructura cerámica pura y densa. Esto reduce significativamente los riesgos de contaminación de las obleas causada por impurezas no deseadas de las condiciones de funcionamiento.

Control de precisión superior

Con un acabado de esmerilado y pulido precisos, los brazos robóticos Bernoulli de alúmina Semicorex ofrecen una precisión dimensional excepcional y una planitud superficial superior, lo que los hace muy adecuados para la fabricación automatizada de semiconductores de alta precisión. Además, los brazos robóticos de alúmina Bernoulli de Semicorex cuentan con una excelente estabilidad térmica, incluso cuando están expuestos a entornos con fluctuaciones severas de temperatura, pueden mantener un posicionamiento repetitivo excelente y una precisión de manejo.