MOCVD es el equipo clave

El equipo MOCVD es el equipo clave en el proceso de producción de la industria de los semiconductores, pero también una gran parte de la inversión en equipos en la cadena de la industria de los semiconductores (tres procesos y equipos principales: litografía, grabado, deposición de película delgada), inversión en la línea de producción de LED, MOCVD monto de la inversión puede representar hasta el 50%. En los equipos de CVD, el sustrato no puede colocarse directamente sobre el metal o simplemente colocarse encima de una base para la deposición epitaxial, porque involucra la influencia de varios factores como la dirección del flujo de gas (horizontal, vertical), temperatura, presión, fijación , derramando contaminantes. Por lo tanto, se utiliza una base y el sustrato se coloca en un disco y luego se realiza una deposición epitaxial sobre el sustrato utilizando la tecnología CVD. Esta base es el grafito recubierto de SiC.susceptor(que también se puede llamartransportador), y su estructura se muestra en la siguiente figura.