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Grafito poroso para el crecimiento de cristales de SiC de alta calidad mediante el método PVT

2023-12-18

El carburo de silicio (SiC) se ha convertido en un material clave en el campo de la tecnología de semiconductores y ofrece propiedades excepcionales que lo hacen muy deseable para diversas aplicaciones electrónicas y optoelectrónicas. La producción de monocristales de SiC de alta calidad es crucial para mejorar las capacidades de dispositivos como la electrónica de potencia, los LED y los dispositivos de alta frecuencia. En este artículo, profundizamos en la importancia del grafito poroso en el método de transporte físico de vapor (PVT) para el crecimiento de monocristales de 4H-SiC.


El método PVT es una técnica ampliamente utilizada para la producción de monocristales de SiC. Este proceso implica la sublimación de materiales fuente de SiC en un ambiente de alta temperatura, seguida de su condensación en un cristal semilla para formar una estructura monocristalina. El éxito de este método depende en gran medida de las condiciones dentro de la cámara de crecimiento, incluida la temperatura, la presión y los materiales utilizados.


El grafito poroso, con su estructura y propiedades únicas, desempeña un papel fundamental en la mejora del proceso de crecimiento de los cristales de SiC. Los cristales de SiC cultivados mediante métodos PVT tradicionales tendrán múltiples formas cristalinas. Sin embargo, el uso de un crisol de grafito poroso en el horno puede aumentar considerablemente la pureza del monocristal de 4H-SiC.


La incorporación de grafito poroso en el método PVT para el crecimiento de monocristales de 4H-SiC representa un avance significativo en el campo de la tecnología de semiconductores. Las propiedades únicas del grafito poroso contribuyen a mejorar el flujo de gas, la homogeneidad de la temperatura, la reducción del estrés y una mejor disipación del calor. Estos factores en conjunto dan como resultado la producción de monocristales de SiC de alta calidad con menos defectos, allanando el camino para el desarrollo de dispositivos electrónicos y optoelectrónicos más eficientes y confiables. A medida que la industria de los semiconductores continúa evolucionando, la utilización de grafito poroso en los procesos de crecimiento de cristales de SiC está preparada para desempeñar un papel fundamental en la configuración del futuro de los materiales y dispositivos electrónicos.


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