Recubrimiento TaC

Las cerámicas TaC tienen un punto de fusión de hasta 3880°C, alta dureza (dureza Mohs 9-10), gran conductividad térmica (22W·m^-1·k⁻¹), gran resistencia a la flexión (340-400 MPa) y pequeño coeficiente de expansión térmica (6,6 × 10^-6K-1), y exhiben una excelente estabilidad termoquímica y excelentes propiedades físicas, por lo que los recubrimientos de TaC se usan ampliamente en la protección térmica aeroespacial, y los compuestos de grafito y C/C tienen buena compatibilidad química y mecánica. ), y muestran una excelente estabilidad termoquímica y excelentes propiedades físicas, y los compuestos de grafito y C/C tienen buena compatibilidad química y mecánica, por lo que los recubrimientos de TaC se utilizan ampliamente en protección térmica aeroespacial, crecimiento de monocristales, energía y electrónica, y dispositivos médicos. etc. El grafito recubierto de TaC tiene una mejor resistencia química que el grafito desnudo o el grafito recubierto de SiC, y puede usarse de manera estable a una temperatura alta de 2600 °. La estabilidad de alta temperatura de 2600 °, y muchos elementos metálicos no reaccionan, es la tercera generación de escenarios de crecimiento de monocristal semiconductor y grabado de obleas en el mejor rendimiento del recubrimiento, puede mejorar significativamente el proceso de control de temperatura e impurezas, la preparación de alta -Obleas de carburo de silicio de calidad y oblea epitaxial relacionada. Es especialmente adecuado para equipos MOCVD para cultivar monocristales de GaN o AlN y equipos PVT para cultivar monocristales de SiC, y la calidad de los monocristales cultivados mejora significativamente.

Según los resultados de la investigación,El recubrimiento de TaC puede actuar como una capa de protección y aislamiento para extender la vida útil de los componentes de grafito, mejorar la uniformidad de la temperatura radial, mantener la estequiometría de sublimación de SiC, suprimir la migración de impurezas y reducir el consumo de energía. En última instancia, se espera que un conjunto de crisol de grafito recubierto de TaC mejore el control del proceso SiC PVT y la calidad del producto.