Portabrocas de vacío de alúmina porosa

El mandril de vacío está conectado al equipo de vacío a través de un tubo de conexión. Cuando el mandril de vacío entra en contacto con la pieza de trabajo, como una oblea o un material de película delgada, el equipo de vacío comienza a funcionar, creando una presión negativa dentro del mandril de vacío. Bajo presión atmosférica, la pieza de trabajo se adhiere firmemente al mandril de vacío, lo que permite el procesamiento. Una vez finalizado el procesamiento, el equipo de vacío deja de funcionar y llena lentamente el mandril de vacío con gas, separando automáticamente la pieza de trabajo del mandril. Esto completa la sujeción, el procesamiento y la manipulación de la pieza de trabajo.

El objetivo principal de la fotolitografía de semiconductores es "imprimir" miles de millones de patrones de circuitos de transistores en una oblea con una precisión de nivel nanométrico. La esencia de la "fotolitografía" es utilizar una fuente de luz para irradiar un fotorresistente altamente fotosensible, provocando una reacción química que graba el circuito. Sin embargo, cuando la fuente de luz irradia la oblea, inevitablemente también incide sobre el mandril electrostático que sirve como soporte de la oblea. La luz secundaria reflejada resultante puede interferir con el proceso de fotolitografía, provocando exposición en áreas no deseadas y dañando los circuitos. Por lo tanto, una superficie negra para el mandril de vacío minimiza la reflexión, garantizando los requisitos de precisión del sistema de fotolitografía. Basándose en esta capacidad, la alúmina negra se puede utilizar ampliamente no sólo en mandriles electrostáticos sino también en escenarios de "supresión de luz". El advenimiento de la era de la IA ha permitido un desarrollo significativo en las aplicaciones de comunicación óptica, y los sustratos de alúmina negra se ven con frecuencia en el embalaje de dispositivos optoelectrónicos y elementos emisores de luz.

Cerámica de alúmina negraestá hecho principalmente de Al2O3, con óxidos de metales de transición como colorantes y coadyuvantes de sinterización añadidos, sinterizados a una temperatura específica. El colorante es un componente crucial en este tipo de cerámica, determinando su color final. Al seleccionar colorantes para portabrocas de vacío, es fundamental garantizar el grado de color, resistencia mecánica, porosidad y tamaño de poro del portabrocas de vacío.

Actualmente, los óxidos de metales de transición comúnmente utilizados como colorantes tanto a nivel nacional como internacional incluyen Fe2O3, CoO, NiO, Cr2O3 y MnO2, siendo Fe2O3, CoO, NiO y MnO2 los más frecuentes. Debido a que la alúmina es menos volátil a altas temperaturas, mientras que los óxidos de metales de transición son lo contrario, su volatilidad aumenta con la temperatura. Estos óxidos forman compuestos de tipo espinela durante la sinterización a alta temperatura, lo que reduce su volatilidad. Por lo tanto, para suprimir la volatilización de los óxidos de metales de transición, se deben seleccionar condiciones de proceso apropiadas para permitirles combinarse en compuestos de tipo espinela a temperaturas más bajas.

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