¿Qué es la muesca en las obleas?

La muesca de oblea es una ranura en forma de V o U en el borde de unaoblea semiconductora. Lejos de ser un defecto ocurrido durante el proceso de fabricación, es el marcador estructural crítico que se diseñó intencionalmente, cuya función principal radica en permitir el posicionamiento preciso y la identificación de la orientación de la oblea. La oblea plana se utilizó como marca de orientación en las primeras etapas del desarrollo de la tecnología de oblea. Sin embargo, a medida que el tamaño de las obleas aumentó gradualmente, el diseño de borde plano ocupó un área más efectiva, siendo reemplazado gradualmente por la muesca más compacta.

¿Cuál es la función de la muesca de la oblea? 

La fabricación de chips es un proceso a escala nanométrica, en el que cualquier desviación direccional puede provocar fallos en el circuito. La muesca de la oblea, que sirve como marca de orientación, permite que las máquinas de litografía y grabado identifiquen rápidamente la orientación del cristal de la oblea, lo que garantiza una alineación precisa de cada paso del proceso. Cada chip se coloca en la oblea según una muesca, similar al primer meridiano. Este ingenioso diseño permite litografiar patrones de circuitos y diseñarlos con la muesca como referencia. Además, los brazos robóticos se basan en la muesca de la oblea para distinguir el lado frontal y posterior y la orientación de la oblea en una línea de producción altamente automatizada, lo que previene significativamente daños a la oblea o errores de proceso causados ​​por un mal funcionamiento. Si la muesca se contamina o daña, se puede rechazar toda la oblea por considerarla no conforme.

La muesca de la oblea también desempeña un papel crucial a la hora de mejorar el rendimiento de la fabricación de chips. Dado que los bordes de las obleas son propensos a defectos como líneas de deslizamiento y grietas durante la fabricación, el posicionamiento preciso mediante muescas permite que el equipo evite con precisión estas áreas defectuosas, reduciendo así el desperdicio. Las líneas de producción modernas también adoptan tecnologías como la rotación de la suspensión neumática para operaciones de búsqueda de bordes. La muesca de la oblea, que sirve como marcador para la detección sin contacto, no solo evita la contaminación causada por el contacto mecánico sino que también mejora la eficiencia y precisión de la identificación.

Semicorex proporcionaSemicorex proporciona. Si tiene alguna consulta o necesita detalles adicionales, no dude en ponerse en contacto con nosotros.

Teléfono de contacto # +86-13567891907

Correo electrónico: sales@semicorex.com