Bote de obleas de carburo de silicio

Detrás de cada proceso de alta temperatura en la fabricación de obleas se encuentra un jugador silencioso pero crucial: el barco de obleas. Como el portador central que contacta directamente con la oblea de silicio durante el procesamiento de la oblea, su material, estabilidad y limpieza están directamente relacionados con el rendimiento final del chip y la estabilidad del proceso. Entre varios materiales portadores,carburo de silicio (sic)Los barcos reemplazan gradualmente las soluciones tradicionales de cuarzo, convirtiéndose en la solución preferida para procesos avanzados y equipos de alta gama.

¿Por qué Sic Wafer Boats?

Con el avance de los nodos de proceso por debajo de las 7 nm y la expansión de las ventanas de proceso de alta temperatura, los barcos de obleas tradicionales de cuarzo están luchando cada vez más en términos de estabilidad térmica, control de partículas y gestión de vida útil.

Sin embargo, los barcos de obleas de carburo de silicio están ganando gradualmente la prominencia debido a las siguientes ventajas:

1. Estable a altas temperaturas:

Ofrecen temperaturas de funcionamiento a largo plazo de 1350-1600 ° C, manejando fácilmente procesos convencionales como ECV, difusión y recocido. Incluso la breve exposición a temperaturas de 1800 ° C no muestra ablandamiento ni deformación, lo que las hace adecuadas para equipos de gama alta, como hornos de carburo de silicio de cristal único.

2. Expansión de bajo y alta estabilidad de choque térmico:

Con un bajo coeficiente de expansión térmica, pueden soportar aumentos y disminuciones de temperatura rápida, minimizando el agrietamiento estructural causado por el estrés térmico. Mantienen una excelente morfología y rendimiento en atmósferas complejas de alta temperatura (como hidrógeno, nitrógeno, amoníaco y fluoruros).

3. superficie limpia y contaminación extremadamente baja:

Alta pureza de material con impurezas mínimas de metales. Baja rugosidad de la superficie, evitando la contaminación secundaria de las obleas de silicio; El excelente control de rugosidad de la superficie, con AR por debajo de 0.1 μm, suprime el desprendimiento de partículas y cumple con los requisitos de la sala limpia de los procesos avanzados;

4. Moldeo de una pieza, las estructuras de la barra de obleas de precisión se pueden formar directamente a través de sin moldeImpresión 3D, eliminar la necesidad de moldes, mejorando significativamente la eficiencia de personalización; Combinado con la tecnología de mecanizado de cinco ejes y reducción de alambre, los dientes del bote no contienen rebabas, evitando rasguños en las obleas y garantizando un manejo automatizado suave;

5. Alta fuerza y ​​larga vida: 

Un solo barco cuenta con una alta resistencia de carga y puede apoyar simultáneamente a docenas a cientos de obleas de 12 pulgadas. En comparación con los barcos de cuarzo tradicionales, la vida útil promedio del barco es 5-10 veces más larga, reduciendo la frecuencia de cambio de equipo y el costo total de propiedad.

Escenario de la aplicación

La amplia adaptabilidad debarcos de obleas de carburo de silicioExtiende su aplicación más allá del campo de semiconductores a una variedad de escenarios de procesos de alta temperatura, incluidos nuevos materiales energéticos, fabricación LED e investigación de energía nuclear.

Industria de semiconductores

Es adecuado para procesos clave como oxidación, difusión, deposición de CVD e implantación de iones, lo que lo convierte en un portador de alta temperatura indispensable para líneas de proceso de menos de 7 nm.

Industria fotovoltaica

En tecnologías de baterías emergentes, como TopCon y HJT, los barcos de obleas se utilizan en procesos de horno de alta temperatura, como LPCVD y recocido, lo que ayuda a mejorar la eficiencia energética y las tasas de conversión.

Semiconductores de tercera generación

Para los procesos de crecimiento epitaxial de GaN y SIC en LED, apoyan sustratos de zafiro o carburo de silicio. Resisten gases corrosivos como NH₃ y HCL, lo que respalda la fabricación de dispositivos de energía de alta frecuencia.

NUEVA plataforma de alta temperatura de Materiales e Investigación de Investigación

Apoya la reacción de sinterización de los materiales del cátodo de la batería de litio y el tratamiento térmico de los materiales de la industria nuclear, combinando resistencia al calor, resistencia a la corrosión y limpieza.

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