Placas base de montaje de alúmina

Las placas base de montaje de alúmina semicorex son productos de cerámica de alta pureza diseñados como bases duraderas y estables para el trabajo de montaje Chucks en equipos de fabricación de semiconductores. Estas placas proporcionan apoyo y alineación mecánica crítica para las operaciones de procesamiento de obleas, como litografía, grabado, deposición e inspección. Es esencial alinear con precisión el trabajo de trabajo con otros componentes del sistema para garantizar que el procesamiento de obleas pueda ocurrir con la fidelidad requerida. Las placas se fabrican a través de técnicas de procesamiento específicas de la cerámica para lograr la planitud necesaria, la durabilidad de la alta temperatura y la confiabilidad a largo plazo para cumplir con los duros requisitos de la fabricación moderna de semiconductores en el proceso y los entornos de la sala de limpieza.

Las placas base de montaje de alúmina semicorex están hechas de alta purezaalúminaTener un nivel de pureza ≧ 99.5% (típico). Una alúmina de alta pureza tiene buenas propiedades mecánicas y térmicas, así como dureza. La alúmina de alta pureza tiene excelentes propiedades aislantes eléctricas inherentes que también permiten que estas placas se usen en aplicaciones de vacío y alto voltaje donde la interferencia eléctrica puede ser un problema. La alúmina será resistente al ciclo térmico, lo que permite que las placas mantengan una mejor precisión dimensional que la mayoría de los materiales y es beneficioso para mantener la alineación o la estabilidad estructural debido a la reducción de la expansión térmica. Este factor es importante para garantizar la repetibilidad del fuck y las tolerancias implícitas del proceso, mientras opera en ciclos de producción extendidos.

En los sistemas de procesamiento de semiconductores, una placa base de montaje no es simplemente un dispositivo para la fijación mecánica. Es el medio de contacto térmico entre el chuck y el resto del equipo y es crítico para la disipación térmica, la integridad estructural y el aislamiento de la vibración. Acciones de procesamiento como (pero no limitado a) CVD, PVD o implantación de iones, donde las altas temperaturas y las presiones de vacío son comunes, requieren una base de montaje para ser resistente térmicamente, químicamente inertes y resistentes, mecánicamente sólidos y resistentes al choque térmico. La inercia química es vital porque un soporte debe ser compatible con los gases reactivos, así como las químicas de limpieza, extendiendo la vida útil del soporte y evitando la contaminación.

Cada placa base de montaje de alúmina hecha por semicorex está mecanizada con tolerancias exigidas por los OEM de semiconductores e integradores de equipos. Las placas están mecanizadas a tolerancias estrechas para el grosor, la variación de altura y la planitud para garantizar la máxima estabilidad y repetibilidad. Estas placas de montaje se pueden hacer con agujeros de montaje, tragamonedas o anticipaciones a las especificaciones del cliente para acomodar mejor los fucks de trabajo, etapas mecánicas u otros equipos. La cerámica de alúmina se procesa utilizando técnicas modernas de sinterización y molienda de precisión para optimizar una microestructura uniforme y una calidad de la superficie para garantizar un contacto térmico constante y la alineación para su uso con el tiempo.

Las placas base de montaje de alúmina semicorex se utilizan en una variedad de aplicaciones que incluyen manejadores de obleas, sistemas de transferencia robótica, ensamblajes de chuck de vacío y etapas de metrología. Esta confiabilidad y durabilidad en una variedad de situaciones de procesos exigentes los convierte en el producto de elección con los fabricantes de herramientas que buscan componentes de cerámica robustos, duraderos y de bajo mantenimiento. Nuestro grupo de ingeniería se asocia con clientes para proporcionar soluciones únicas que se especifiquen para cada placa para maximizar la eficiencia de la producción en un semiconductor.

Las placas base de montaje de alúmina son más que un soporte mecánico; Es un componente clave en ingeniería de precisión en la industria de semiconductores. Con una excelente estabilidad mecánica, pureza y configurabilidad, garantizan una alineación precisa, una larga vida útil y una operación confiable en una amplia gama de herramientas de proceso. Para las placas base de montaje de alto rendimiento, que cumple con las altas expectativas de los fabricantes de semiconductores de hoy en día, confía en semicorex.